僅適用于cressington sputter和carbon coaters高分辨率厚度監(jiān)視器和厚度控制器基于以下原理：石英晶體的振蕩頻率由其上表面上的沉積膜的質(zhì)量改變。電子測(cè)量該效果允許確定沉積膜的厚度。一旦將蒸發(fā)的材料的密度輸入系統(tǒng)，就在范圍為0-999.9納米的四位led顯示器上測(cè)量厚度為0.1nm的分辨率。

一種緊湊，低成本，基于微處理器的薄膜厚度監(jiān)視器，可與瓊脂系列涂層單元配合使用。這是一款緊湊型，低成本，基于微處理器的薄膜厚度監(jiān)測(cè)儀，適用于瓊脂系列涂層裝置。*初設(shè)計(jì)用于電子顯微鏡應(yīng)用，它也適用于復(fù)雜的沉積系統(tǒng)。雙存儲(chǔ)器存儲(chǔ)兩種沉積材料的參數(shù)。該系統(tǒng)使用安裝在晶體支架中的6mhz石英晶體振蕩器?？刂茊卧哂袛?shù)字讀數(shù)，顯示直接以納米為單位的涂層厚度，分辨率為0.1nm。還可以輸入加工因子以補(bǔ)償樣品和晶體位置的差異。膜厚監(jiān)測(cè)儀的測(cè)量范圍為0至999.9nm，并具有晶體壽命。升級(jí)套件允許在兩個(gè)瓊脂涂層機(jī)之間共享一個(gè)控制單元。