fr-portable 便攜式膜厚儀主要由以下系統(tǒng)組成：α白熾-led混合集成式光源系統(tǒng)，通過內(nèi)嵌式微處理器控制，使用壽命超過20000小時(shí)。小型光譜儀，光譜范圍370nm –1050nm,分辨精度可達(dá)3648像素， 16位級(jí) a/d 分辨精度；配有usb通訊接口；β) fr-monitor膜厚測(cè)試軟件系統(tǒng)，

fr-scanner 掃描型光學(xué)膜厚儀主要由以下系統(tǒng)組成：a) 光學(xué)光源裝置小型低功率混合式光源本系統(tǒng)混合了白熾燈和led燈，最終形成光譜范圍360nm- 1100nm；該光源系統(tǒng)通過微處理控制，光源平均壽命逾10000小時(shí)；

fr-basic vis/nir基礎(chǔ)型膜厚儀（紫外/近紅外-高分辨率）光譜范圍：350-1000nm ：α)鹵鎢光源系統(tǒng)tungsten halogen light source 全軟件控制的光譜范圍和輻照強(qiáng)度。小型光譜儀光譜范圍(350nm-1000nm)，分辨精度可達(dá)3648像素， 16位級(jí) a/d 分辨精度；配有usb通訊接口；光學(xué)連接器sma 905, 光譜儀功率：110vac/230vac – 60hz/50hz.10mm厚度的氧化鋁面板，每英寸（25mm）間距，配有m6 (or ?”) 口徑鉆孔，用以安裝光學(xué)部件。樣品放置臺(tái)，配有多點(diǎn)z軸聚焦和x-y軸移動(dòng)調(diào)節(jié)。反射探針夾具調(diào)節(jié)范圍 (200mm – 200mm – 60mm)，可在測(cè)試區(qū)域內(nèi)精調(diào)節(jié)。β) fr-monitor膜厚測(cè)試軟件系統(tǒng)，

僅適用于cressington sputter和carbon coaters高分辨率厚度監(jiān)視器和厚度控制器基于以下原理：石英晶體的振蕩頻率由其上表面上的沉積膜的質(zhì)量改變。電子測(cè)量該效果允許確定沉積膜的厚度。一旦將蒸發(fā)的材料的密度輸入系統(tǒng)，就在范圍為0-999.9納米的四位led顯示器上測(cè)量厚度為0.1nm的分辨率。

一種緊湊，低成本，基于微處理器的薄膜厚度監(jiān)視器，可與瓊脂系列涂層單元配合使用。這是一款緊湊型，低成本，基于微處理器的薄膜厚度監(jiān)測(cè)儀，適用于瓊脂系列涂層裝置。*初設(shè)計(jì)用于電子顯微鏡應(yīng)用，它也適用于復(fù)雜的沉積系統(tǒng)。雙存儲(chǔ)器存儲(chǔ)兩種沉積材料的參數(shù)。該系統(tǒng)使用安裝在晶體支架中的6mhz石英晶體振蕩器?？刂茊卧哂袛?shù)字讀數(shù)，顯示直接以納米為單位的涂層厚度，分辨率為0.1nm。還可以輸入加工因子以補(bǔ)償樣品和晶體位置的差異。膜厚監(jiān)測(cè)儀的測(cè)量范圍為0至999.9nm，并具有晶體壽命。升級(jí)套件允許在兩個(gè)瓊脂涂層機(jī)之間共享一個(gè)控制單元。