產(chǎn)品應用:
DC、RF、mmW測試
納米級電子器件測試,微機電測試LAB DS.pdf
高功率測試
產(chǎn)品特點:
LAB系列為真正意義上的模塊化結構設計探針臺,讓用戶可完全圍繞實際應用,選擇最適合的功能配置,確保最佳成本解決方案的同時滿足用戶將來的升級需求。
LAB系列可定制的模塊為:載物臺及其移動基座模塊、探針座放置平臺移動模塊和顯微鏡及其移動基座模塊。用戶可自行配置功能模塊的同時,還可根據(jù)自身需求增加探針卡夾具、激光器、微腔體屏蔽系統(tǒng)、半自動控制系統(tǒng)、全自動控制系統(tǒng)、高溫測試系等,滿足更多的應用需求。
LAB系列還為用戶提供了一個高剛性和穩(wěn)定性的測試系統(tǒng)。載物臺移動基座和探針臺底座一體化的結構設計,顯著地提高了載物臺的結構剛性和穩(wěn)定性。顯微鏡支撐為龍門結構,可應用于高放大倍率的光學系統(tǒng),保證光學系統(tǒng)的穩(wěn)定性。探針座放置平臺采用高剛性結構設計,保證平臺板整體的垂直應力形變在5μm/10N以內,擁有極高的穩(wěn)定性以滿足高精度探針座的定位要求。
| 技術指標 |
| 載物臺(常規(guī)晶圓載物臺) |
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| 尺寸 | 6"(152.4mm),可選更大尺寸,如8"或12" |
| 材質 | 不銹鋼 |
| 平整度 | ≤±2.5μm |
| 真空區(qū)域* | 0,2",4",6"環(huán)形吸附** |
| 真空控制 | 手動控制,獨立真空區(qū)域 |
| 真空驅動方式 | 真空泵 |
| 載物臺電性能 | 載物臺信號導通,可選擇接地或接信號 |
| *根據(jù)載物臺尺寸有所不同,如載物臺尺寸為12",則真空吸附區(qū)域為0,2",4",6",8",12"。 ** 除環(huán)形吸附外,還可選微孔吸附式載物臺,以適用于厚度在50μm或以內的晶圓。 | |
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| 載物臺移動基座 |
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| X-Y軸行程范圍* | 6"*6"(152.4mm*152.4mm),可選更大行程 |
| 精度 | 1μm |
| R軸粗調角度范圍 | 360° |
| R軸細調角度范圍 | ±9° |
| 微調精度 | 0.0001°/deg |
| Z軸細調行程范圍 | 13mm |
| 細調精度 | 1μm |
| Z軸快升行程 | 0~6mm, 可調 |
| Z軸往復精度 | <1μm |
| 載物臺快速拖出行程 | 100mm |
| *根據(jù)載物臺尺寸不同,行程有所不同,如載物臺為12",則X-Y移動行程為12"*12"。 | |
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| 探針座放置平臺 |
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| 材質 | 鋼,表面沉鎳處理 |
| 平臺板尺寸* | 可放置8個CM50或4個RF50探針座 |
| 平臺板至載物臺高度 | 1.496”(38mm) |
| 探針座兼容性 | 可兼容磁力或真空吸附底座的探針座 |
| Z軸細調行程范圍 | 45mm |
| Z軸快升行程 | 350μm |
| Z軸往復精度 | <1μm |
| *此處為6"探針臺可放置的探針座數(shù)量 ,更大尺寸探針臺詳詢客服人員。 | |
| 顯微鏡移動基座 |
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| X-Y軸行程范圍 | 2"*2"(50mm* 50mm) |
| X-Y軸精度 | 1μm |
| 調焦行程 | 2"(50mm) |
| 精度 | 1μm |
| Z軸粗調行程 | 100mm |
| 氣動升降行程 | 40mm |
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| 光學系統(tǒng) |
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| 類型 | 金相顯微鏡,可選體視或單筒顯微鏡 |
| 光學放大倍數(shù)* | 20X-2000X |
| * 根據(jù)所選物鏡或顯微鏡放大倍數(shù)不同會有不同的光學放大倍數(shù),詳細請咨詢客服人員。 | |
| 其它信息 |
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| 臺體尺寸 | 724mm*606mm*610mm(W*D*H) |
| 重量 | 120kg |
| 加熱載物臺(可選項) |
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| 尺寸 | 6"(152.4mm),可選更大尺寸,如8"或12" |
| 溫度范圍 | 室溫~300℃ |
| 溫控精度* | 0.5℃(典型值) |
| 溫度均勻性 | 0.5℃@6"載物臺 |
| 加熱時間 | <6min(室溫~300℃) |
| 標準配置的加熱臺為自然冷卻,可選風冷或水冷套件。 |
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| RF載物臺(可選項) |
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| 尺寸 | 6"(152.4mm),可選更大尺寸,如8"或12" |
| 校準片載物臺 | 2個(獨立真空控制) |
| 尺寸 | 配套CS-5等尺寸的校準片 |
| 校準片載物臺角度調節(jié)范圍 | 7° |
| 材質 | 不銹鋼 |
| 平整度 | ≤±2.5μm |
| 真空驅動方式 | 真空泵 |
| 其它擴展配件(可選項) |
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| 探針卡夾具 | 可根據(jù)探針卡尺寸定制,應用于多點或自動測試 |
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| 激光器 | 1064nm,532nm,355nm,三個波段自由配置,對芯片線路進行切割修改。 |
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| 半自動控制系統(tǒng) | 實現(xiàn)晶圓小批量半自動測試需求 |
| 設備環(huán)境要求 |
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| 電源 | 220V±10% |
| 真空 | -8bar |
| 壓縮空氣 | 0.6MPa |
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品牌簡介-PRCBE
展芯科技是一家專業(yè)的探針臺系統(tǒng)研發(fā)和生產(chǎn)商,致力于為用戶提供中國(PRC)精準(Precise)、可靠(Reliable)和高性價比(Cost-effective)的探針臺系統(tǒng)。
依托于自有的芯片失效分析實驗室,展芯科技得以根據(jù)最前端的測試需求不斷地研發(fā)改進探針臺系統(tǒng),以滿足用戶日新月異的測試需求。同時,芯片失效分析實驗室也為展芯的探針臺系統(tǒng)提供了理論聯(lián)系實際的測試平臺,芯片分析實驗室用戶在使用探針臺系統(tǒng)的同時,也給我司產(chǎn)品提供了寶貴的改進建議。
經(jīng)過10年的發(fā)展和積累,展芯已在探針臺系統(tǒng)的應用技術領域取得了卓越的成績,可針對用戶不同的測試需求定制解決方案,如微弱電流測試(1fA)、RF 和mmW測試(THz)、高功率測試(100A,10kV)、真空高低溫測試(-196℃~800℃)、光電測試等等。
憑借著PRC的產(chǎn)品,展芯贏得了半導體行業(yè)內知名科研機構和公司的信任和尊重,建立了長期的合作關系。展芯的探針臺系統(tǒng)已在國內外的科研院所、學校和公司中獲得廣泛的使用,如中科院、廣州五所(賽寶實驗室)、北京自動化設備研究所、電子科技大學、西安電子科技大學、清華大學、北京大學、復旦大學、香港大學、香港科技大學、香港城市大學、華為、中興、比亞迪、富士康等等。
感謝您對展芯的關注,相信我們PRC的產(chǎn)品定能讓您在集成電路 (IC)、電路板、光學器件、MEMS、3D TSV、LCD等先進半導體器件的精密電氣測量及測試中獲得精準可靠的測試數(shù)據(jù)。
售后服務
2年質量保修期
除探針耗材外,展芯科技銷售的產(chǎn)品質量保證期為貨物簽收之日起2年,在此期間若合同標的物出現(xiàn)質量問題,均由展芯負責維修或替換,但以下情況除外:1. 自然原因導致的產(chǎn)品質量衰退、精度下降;2. 人為或不可抗拒的自然現(xiàn)象而發(fā)生的損壞;3. 用戶擅自進行的拆解、改裝、功能附加或減除導致的損壞;4. 用戶自行或經(jīng)第三方維修導致的損壞。
免費終身維護
除探針耗材外,展芯科技銷售的產(chǎn)品均可享受免費終身維護服務。
功能描述 | |
量程: | 0-19.99ppm |
分辨率: | 0.01ppm |
傳感器: | 長壽命電化學傳感器,可充傳感器內溶液 |
采樣方式: | 泵吸式 |
響應時間: | 60秒 |
電壓 | 12VDC(12VAC/DC交換器)交直流兩用 |
物理特性 | |
長度 | 225mm |
寬度 | 102mm |
高度 | 178mm |
重量 | 2kg |
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產(chǎn)品名稱: 涂鍍層測厚儀產(chǎn)品型號: positector 6000簡單介紹涂鍍層測厚儀:即時測量,無需校準兩鍵操作 雙色指示燈 重置功能可迅速將測厚儀還原為出廠狀態(tài)
涂鍍層測厚儀的詳細介紹
涂鍍層測厚儀
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6FX8002-2CB51
特長:
不用調整pH--pH 5-9之間皆宜使用
不用任何器具—只需要將試管前端的預埋線拉出
快速得出結果—大部分項目約五分鐘
輕巧方便—每支試管重量約為1公克
不會破損—PE塑膠制試管
可測定項目:(離子濃度)
銀 / 鋁 / 砷 / 硼 / 鈣 / 氯 / 二氧化碳 / / 化學需氧量 / 鉻 / 銅
氟 / 鐵 / 甲醛 / 鎳 / 硝酸 / 亞硝酸 / 臭氧 / 酸堿度 / 磷酸 / 硫 / 亞硝酸
二氧化矽 / 鋅 / 鎂 / 錳 / 氨 / 過氧化氫
應用范圍:
工程管理—原物料品管,殘留量檢查,一般用水/循環(huán)用水/鍋爐用水等管理.
排水管理—最終放流水確認,污水處理設施運轉管理,設備驗收,異常處理,異常早期發(fā)現(xiàn),操作指導,取締.
用水檢查—自來水/工業(yè)水/地下水檢查,自來水塔清洗消毒確認檢查,緊急災害,野外活動等等飲用水安全的確認檢查,牧場農畜等飲用水檢查.
養(yǎng)殖管理—養(yǎng)殖漁業(yè)水質檢查,取水口檢查,觀賞魚/水族館水質檢查,活魚搬運/遞送管理.
環(huán)境調查—河川湖泊水質調查,污水分布,殘留調查,污染源追蹤,酸雨調查,溫泉水調查,海洋環(huán)境調查.
教研機構—中小學環(huán)境教育,大專院校實習器材,科學實驗,研究專案,食品檢查.
農業(yè)應用—水耕栽培營養(yǎng)液管理,農業(yè)用水檢查.
其他應用—大型精密儀器分析事前確認,毒性檢查,調查研究,電解水檢查.
ACS是法國衛(wèi)生認證機構,全名是(Academia constiintei de sine),主要根據(jù)AFNOR(Association Francaise de Normalisation)發(fā)布的標準(比如XP P41-251)進行水暖器材類產(chǎn)品的檢測。目前在巴黎和里爾設有相關實驗室。 AFNOR對金屬玻璃和陶瓷等制品及材料制定了相應的安全衛(wèi)生標準。其中毒性測試用于檢測材料和制品置于水中是否析離出重金屬,軟化劑和穩(wěn)定劑等物質,有機物測試用于檢測影響材料的特性,包括制品接觸飲用水后,水質的口感,氣味和顏色等指標;材料性能檢測材料的機械性能。
ACS所需的內容 提交的文件至少應有以下詳情: 申請人的地址和電話號碼 主要部件和系列部件的貿易情況介紹 對與ACS(法國水暖器材的環(huán)保認證)來說,主要部件的介紹要求要特別詳細 它的命名,包括黏和劑,輔助材料(機油,油脂)等的特性 部件與水接觸的容積面積 部件總的濕面 部件的結構濕面 每個結構成分的濕面 輔助材料(機油,油脂的特性) 意圖為人類飲用的水循環(huán)的示意圖 結構部件的供應商的名稱,地址和聯(lián)系人 寫有代表性部件圖表的技術表格,表明與水接觸的不同部件 所含每個部件系列的技術規(guī)格的描述,特別是尺寸范圍和系列流程 系列部件的命名,為人類飲用設計,與水接觸的每個部分的詳細說明 金屬和礦物部分的標準設計和商業(yè)命名 結構部件的公式描述和商業(yè)命明 以下是ACS的主要檢測內容: ACS認證-法國標準(AFNOR XP P41-250,1-3部分),成份分析;按“概要文件”的要求;儲藏測試(微生物分析))成份測試;成份組測試;物理與化學材料測試;毒物學和微生物學測試(按不同的應用);萃取測試;熱水測試
COAXB-TV/S單口視頻監(jiān)控防雷器