MProbe 20是一款用于薄膜厚度測量的桌面系統(tǒng)，在范圍內(nèi)有成千上萬的應(yīng)用。它測量薄膜厚度和折射率只需鼠標(biāo)點(diǎn)擊。厚度從1nm 1mm，包括多層膜層，可以快速和可靠地測量。不同的MProbe 20模型主要由光譜儀的波長范圍和分辨率來區(qū)分，這又決定了可以測量的材料的厚度范圍和類型。該測量技術(shù)基于光譜反射率，具有快速、可靠、無損等特點(diǎn)。

Mprobe 20 薄膜測量系統(tǒng) (單點(diǎn)測量)

姓名：魏工(David)

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薄膜測量系統(tǒng)單點(diǎn)測量產(chǎn)品簡介：

MProbe 20是一款用于薄膜厚度測量的桌面系統(tǒng)，在范圍內(nèi)有成千上萬的應(yīng)用。它測量薄膜厚度和折射率只需鼠標(biāo)點(diǎn)擊。厚度從1nm 1mm，包括多層膜層，可以快速和可靠地測量。不同的MProbe 20模型主要由光譜儀的波長范圍和分辨率來區(qū)分，這又決定了可以測量的材料的厚度范圍和類型。該測量技術(shù)基于光譜反射率，具有快速、可靠、無損等特點(diǎn)。

 

MProbe 20薄膜測量系統(tǒng)單點(diǎn)測量產(chǎn)品相冊：

 

Mprobe 20 不同配置與厚度范圍：

 

 

薄膜測量系統(tǒng)單點(diǎn)測量設(shè)備配置:

主單元(包括光譜儀、光源、光控制器、微處理器)
SH200A樣品臺，帶對焦鏡頭，可微調(diào)
光導(dǎo)纖維反射探頭
TFCompanion -RA軟件、USB適配器(授權(quán)密鑰)、USB記憶棒附帶軟件發(fā)行、用戶指南等資料
根據(jù)型號和黑色吸收體的不同，校準(zhǔn)裝置(裸硅片和/或石英板和/或鋁鏡)
測試樣品200nm的氧化硅或PET薄膜，視型號而定
USB或LAN線(用于連接主機(jī)和PC)
24VDC電源適配器(110/220V)

 

薄膜測量系統(tǒng)單點(diǎn)測量設(shè)備配置:
精度:<0.01nm或0.01%(在200nm的氧化物上測量100次)
精度:<1nm或0.2%(依賴于filmstack)
穩(wěn)定性:< 0.02nm或0.2%(每天測量20天)
光斑大小:< 1毫米
樣本尺寸:>= 10mm
參見下面小冊子中MProbe 20薄膜厚度測量系統(tǒng)可用配置的詳細(xì)規(guī)格

薄膜測量系統(tǒng)單點(diǎn)測量產(chǎn)品規(guī)格:

MProbe 20	波長范圍	規(guī)格	厚度范圍
VIS	400nm -1100nm	F3 Ariel Spectrometer, 2048/4096 pix cmos,  16 bit ADC, 5W Tungsten-Halogen lamp	10nm – 75 μm
UVVISSR	200nm -1100nm	F4 Spectrometer, 2048 pix (backthinned),16 bit ADC 20W TH lamp, 30W Deuterium short-ark lamp	1nm -75μm
VISHR	700nm-1700nm	F4 Spectrometer, 2048 pix (backthinned),16 bit ADC, 5W TH lamp	1μm-400μm
NIR	900nm-1700nm	F4 spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp	50nm – 85μm
UVVisF	200nm -800nm	F4 spectrometer, Si detector 2048 pixels ccd, 16 bit ADC, 10W Xe flash lamp	1nm – 5μm
UVVISNIR	200nm-1700nm	F4 Spectrometer, 2048pix (backthinned),16 bit ADC 20W TH lamp, 30W Deuterium short-ark lamp. F4spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp	1nm -75μm
NIRHR	200nm -1100nm	F4 spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp or SLDoption	10μm-1800μm (glass)4μm-400μm (Si)

 

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