μscan共聚焦顯微鏡材料表面的三維輪廓測(cè)量,粗糙度測(cè)量,寬度,高度,角度,半徑、粗糙度等二維、三維數(shù)據(jù)分析。能直接測(cè)量較大面積的樣品,而不用通過(guò)拼接。

產(chǎn)品介紹
μscan共聚焦顯微鏡材料表面的三維輪廓測(cè)量,粗糙度測(cè)量,寬度,高度,角度,半徑、粗糙度等二維、三維數(shù)據(jù)分析。能直接測(cè)量較大面積的樣品,而不用通過(guò)拼接。
μScan的中心部件掃描模塊(x/y方向樣品掃描)可以和不同的傳感器(Z方向測(cè)量)連用,如Confocal point sensor(CF)、Autofocus sensor(AF)、Chromatic white light sensor(CLA)、Holographic sensor(CP)等。目前主配的是連接CF4激光共聚焦傳感器。
CF4激光共聚焦傳感器內(nèi),被照亮的小孔成像在被測(cè)量的表面,激光光束經(jīng)由物鏡迅速上下移動(dòng)聚焦于待測(cè)物上,只有當(dāng)焦平面和真實(shí)表面的點(diǎn)配對(duì)的時(shí)候,探測(cè)器才記錄到一個(gè)表面信號(hào)。因此物鏡得通過(guò)小的垂直步位移動(dòng),使信號(hào)通過(guò)位移傳感器的位置移動(dòng)被測(cè)出。根據(jù)特殊的內(nèi)插技術(shù),該系統(tǒng)的精度能達(dá)到10nm以下。
應(yīng)用
?集成電路封裝和表面貼裝:快速獲得封裝翹曲變形、引線共面性、粗糙度、焊料的體積、引線輪廓。
?厚膜混合電路:膜厚度的自動(dòng)化測(cè)量
?精密部件:測(cè)量精密五金配件、塑料、半導(dǎo)體材料的輪廓、粗糙度等





技術(shù)參數(shù)
1. 測(cè)量原理:非接觸,激光共聚焦
2. 掃描模塊:
2.1 XY方向測(cè)量范圍50X50mm/100X100mm/150X100mm/200X200mm(可選),馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
2.2 XY方向平臺(tái)分辨率0.5um
2.3 Z方向位移范圍100mm
2.4 最大測(cè)量速度50mm/S.
3. 傳感器模塊
3.1 共聚焦傳感器,激光光源1.5 μm spot size,1 kHz data rate
3.2 Z方向分辨率0,02um
3.3 XY方向分辨率1um,可連續(xù)一次掃描成像,最大范圍達(dá)到200mmX200mm
3.4 工作距離 4mm
3.5 Z方向測(cè)量范圍1mm
4 系統(tǒng)配置
4.1 計(jì)算機(jī):高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng);
4.2 配有專業(yè)工作臺(tái), 尺寸L1000 x H750 x W800 (mm)
4.3 可為CF傳感器選配離軸攝像頭(10X),最大視野8 x 6 mm2
4.4 功能全面的軟件
4.5 數(shù)據(jù)分析:輪廓測(cè)量、寬度,高度,角度,半徑、粗糙度等二維、三維數(shù)據(jù)分析
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關(guān)鍵詞:
NanoFocus三維激光共聚焦顯微鏡
上海曼戈斐光學(xué)技術(shù)有限公司(Megphy)是一家專業(yè)從事高端光學(xué)測(cè)量
儀器代理的公司。代理品牌主要有美國(guó)OPTEK、德國(guó)NanoFocus等,產(chǎn)品涵蓋共聚焦顯微鏡、三維表面測(cè)量?jī)x、全自動(dòng)影像測(cè)量?jī)x、光學(xué)顯微鏡等。公司由具備多年專業(yè)化水準(zhǔn),熟悉行業(yè)應(yīng)用并具備創(chuàng)業(yè)精神的技術(shù)人員,營(yíng)銷(xiāo)人員組成,致力于為用戶提供最高效、最合適的解決方案以及優(yōu)質(zhì)的售前、售中和售后的全程服務(wù),包括免費(fèi)的產(chǎn)品檢測(cè)、專業(yè)的產(chǎn)品咨詢、免費(fèi)裝機(jī)調(diào)試及培訓(xùn)、售后免費(fèi)的維護(hù)保養(yǎng)及一年免費(fèi)保修服務(wù),至今贏得了眾多知名企業(yè)的信賴和支持! Operations Technology Inc , USA (OPTEK) 于1978 年成立于美國(guó)新澤西州,是一家全球領(lǐng)先,設(shè)計(jì)生產(chǎn)非接觸式測(cè)量?jī)x及高精度測(cè)量設(shè)備的公司。產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于汽車(chē)制造、飛機(jī)制造、電氣、半導(dǎo)體制造、注塑業(yè)、醫(yī)療器械、金屬?zèng)_壓等領(lǐng)域。經(jīng)過(guò)30多年的不斷努力,OPTEK 為全球用戶提供了專業(yè)而細(xì)致的服務(wù)。我們不僅為用戶提供標(biāo)準(zhǔn)化的機(jī)型,同時(shí)也為有特殊量測(cè)需求的客戶提供定制化的檢測(cè)方案。所有的系統(tǒng)都具備微米級(jí)的分辨率和測(cè)量精度。 NanoFocus 的產(chǎn)品,服務(wù)和革新技術(shù)全面面向客戶制程。從咨詢,試生產(chǎn)到技術(shù)服務(wù),我們提供始終如一的支持?蛻艨梢酝耆刨囄覀兊募夹g(shù)經(jīng)驗(yàn)和高標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量。作為客戶發(fā)展伙伴,NanoFocus的工程師們?yōu)榭蛻艏夹g(shù)發(fā)展和解決量測(cè)難題提供幫助。NanoFocus系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)領(lǐng)域、復(fù)雜環(huán)境和持續(xù)的進(jìn)程改進(jìn)中,行業(yè)覆蓋廣泛,包括汽車(chē)工業(yè)、能源技術(shù)、印刷和造紙工業(yè)、安全技術(shù)、醫(yī)療技術(shù)、微系統(tǒng)、機(jī)械加工技術(shù)以及材料科學(xué)等。 眾所周知,廣告承諾的再好也無(wú)法解決任何現(xiàn)實(shí)中量測(cè)上的需求,這就是為什么NanoFocus完全致力于為用戶提供最誠(chéng)實(shí)的技術(shù)參數(shù),最深刻具體的產(chǎn)品應(yīng)用實(shí)例及其最專業(yè)的解決方案,以及我們給予客戶完全的信賴,讓我們的產(chǎn)品來(lái)讓您信服!