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Photonic-Lattice全檢膜厚Mapping橢偏儀
產(chǎn)品簡介:
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常規(guī)橢偏儀通常只能對一點進行膜厚測量,而且單點測量也需要耗費時間,雖然也有可以做到自動掃描檢測整個樣品膜厚狀況的手段,但是點數(shù)和時間以及精度往往無法滿足工業(yè)客戶的需求;
對客戶的這一痛點日本Photonic lattic 通過以自研的偏振傳感器為核心的新一代全檢膜厚測量橢偏儀, 采用自研的偏光Sensor技術(shù),可以對透明基板上1nm以下薄膜進行快速、高精度檢測,例如:光掩模板的光阻層、顯示器面板ITO膜或配向膜、晶圓薄膜等膜厚評估。
ME-210-T 的高密度膜厚分布檢測能力,會對先進的薄膜產(chǎn)品有大的用處。
可以做到1000點/分鐘,6寸產(chǎn)品快可以在3分鐘內(nèi)完成,不僅如此,ME-210-T針對透明基板也可測量。

產(chǎn)品特點:
高速/面分布測量
大每分鐘1000點以上超高速全面測量膜厚,短時間內(nèi)就可以取得整個產(chǎn)品膜厚和分布圖

微小域測定(20un左右)
可簡單測量任意微小區(qū)域

透明基板上的薄膜厚度也可測量
適用于玻璃基板上的薄膜測定

關(guān)鍵詞:
PHL膜厚測試儀 橢偏儀ME-210-T 全檢膜厚Mapping橢偏儀
北京歐屹科技有限公司(歐屹科技),是一家提供激光,光電,半導(dǎo)體儀器設(shè)備的高科技企業(yè)。
歐屹科技代理,經(jīng)銷的產(chǎn)品內(nèi)容廣泛,我們在激光耦合、光束變換、半導(dǎo)體激光器、皮飛激光器及加工系統(tǒng)、探測器等光電器件、材料應(yīng)力檢測、半導(dǎo)體晶圓加工及檢測、等離子光譜檢測產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于教學(xué),科研,產(chǎn)品開發(fā)及規(guī)模生產(chǎn)中。十幾年來,歐屹科技不斷為用戶提供上先進的儀器設(shè)備及配套解決方案,使得每一位用戶都能獲得持久的收益。
歐屹科技憑借自身的業(yè)技術(shù)能力,優(yōu)秀的服務(wù),已經(jīng)與多家制造企業(yè)建立長期的戰(zhàn)略合作,如德國LIMO、德國耶拿集團、德國SPETEC、美國Edmund、美國Sonicor、日本Ryokosha、日本Photonic Lattice、日本APCO、日本NMPT、韓國NONA TECH,臺灣OPTIVU等。我們提供的不僅僅是先進的產(chǎn)品,而是更注重客戶真實的需求是什么,針對用戶的技術(shù)需求,從咨詢開始到技術(shù)方案確定,到項目實施,到售后的安裝,到技術(shù)培訓(xùn),到未來的系統(tǒng)的升改造,我們?nèi)伎紤]到,并為客戶落實到位,確保我們客戶的每一筆資金都花在刀刃上,為客戶帶來切實的,長期的益處。