原子分辨率300 kV透射電子顯微鏡
在精細加工技術已進入到亞納米級水平的半導體,先進材料的研發(fā)領域,原子分辨率電子顯微鏡正在成為日益重要的,不可或缺的工具。
為了滿足這種高端需求,日立高新技術公司研發(fā)出了 H-9500透射電子顯微鏡,此款高分辨透射電子顯微鏡不僅具備實地驗證過的各種優(yōu)秀性能,而且配置了很多滿足客戶多種需求的獨特功能,并采用了最新的數字技術,便于用戶及時快速獲取原子水平的樣品結構信息。
用戶友好型的操作系統(tǒng)
高穩(wěn)定性,高分辨率透射電子顯微鏡
性能優(yōu)異,可靠性高
得到市場驗證的10級加速器電子槍設計
阻抗式高壓電纜設計
高檔可選附件
高檔可選附件
備注:FPD(平板顯示器)上的圖像為模擬圖像。
規(guī)格
項目 | 說明 |
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分辨率 | 0.10nm(晶格分辨率) 0.18nm(點分辨率) |
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加速電壓 | 300kV、200kV*1、100kV*1 |
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放大倍率 | 連續(xù)放大模式 | 1,000~1,500,000× |
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選區(qū)模式 | 4,000~500,000× |
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低倍模式 | 200~500× |
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電子槍 | 燈絲 | LaB6(六硼化鑭燈絲,直流加熱) |
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燈絲交換 | 自動升降式電子槍 |
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高壓電纜 | 阻抗電纜 |
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照射系統(tǒng) | 透鏡 | 四級透鏡 |
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聚光鏡光闌 | 4孔可變 |
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探針尺寸 | 微米束模式:0.05 - 0.2 μm(4級) 納米束模式:1 - 10 nm(4級) |
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電子束傾斜 | ±3° |
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成像系統(tǒng) | 透鏡 | 五級透鏡 |
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聚焦 | 圖像搖擺調整 利用像散監(jiān)視器進行正焦補償 聚焦優(yōu)化 |
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物鏡光闌 | 4孔可變光闌 |
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選區(qū)光闌 | 4孔可變光闌 |
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電子衍射 | | 選區(qū)電子衍射 納米探針電子衍射 會聚束電子衍射 |
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相機長度 | 250 - 3,000 mm |
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樣品室 | 樣品臺 | 5軸優(yōu)中心海帕測角臺 |
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樣品尺寸 | 3mmΦ |
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樣品位置追蹤 | X/Y = ±1mm, Z = ±0.3 mm 通過CPU控制馬達驅動 |
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樣品位置顯示 | 自動驅動,自動跟蹤 |
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樣品傾斜 | α = ±15°, β = ±15° (日立雙傾樣品臺*2) |
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防污染 | 冷阱 |
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烘烤功能 | 中溫烘烤功能 |
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觀察室 | 熒光屏 | 主屏:110 mmΦ 聚焦屏:30 mmΦ |
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目鏡 | 7.5× |
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照相室 | 區(qū)域選擇 | 整張照相/半張曝光 |
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膠片 | 25張(2套膠片盒) |
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圖形用戶界面 | | 操作系統(tǒng):Windows XP® |
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顯示器 | 19英寸顯示器 |
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功能 | 數據庫,測量,圖像處理 |
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數碼CCD 相機*3 | 相機耦合 | 透鏡耦合 |
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有效像素 | 1,024 × 1,024 像素 |
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A/D 分辨率 | 12位 |
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真空系統(tǒng) | 電子槍 | 離子泵:60 L/s |
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鏡筒 | 渦輪分子泵:260 L/s |
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觀察室/照相室 | 擴散泵:280 L/s 前級泵:135 L/min × 3臺 |
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以上規(guī)格是在加速電壓為300 kV時的承諾
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關鍵詞:
日立高分辨環(huán)境透射電鏡H-9500
儀器(上海)有限公司" target="_blank" style="text-decoration-line: none; color: rgb(51, 51, 51); font-family: "Microsoft Yahei"; font-size: 22px;">
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