產(chǎn)品簡(jiǎn)介：  

SE橢偏儀系列薄膜分析產(chǎn)品來自美國AST公司，其可以實(shí)現(xiàn)薄膜厚度精準(zhǔn)測(cè)量，同時(shí)可以實(shí)現(xiàn)12層的薄膜厚度測(cè)試，同樣對(duì)于材料NK參數(shù)也可以實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確測(cè)量，為人們針對(duì)薄膜進(jìn)行分析提供了極大便利。

特點(diǎn)： 
· 易于安裝
· 基于視窗結(jié)構(gòu)的軟件，很容易操作
· 先進(jìn)的光學(xué)設(shè)計(jì)，以確保能發(fā)揮出最佳的系統(tǒng)性能
· 能夠自動(dòng)的以0.01度的分辨率改變?nèi)肷浣嵌?br/>· 高功率的DUV－VIS光源，能夠應(yīng)用在很寬的波段內(nèi)
· 基于陣列設(shè)計(jì)的探測(cè)器系統(tǒng)，以確�？焖贉y(cè)量
· 最多可測(cè)量12層薄膜的厚度及折射率
· 能夠用于實(shí)時(shí)或在線的監(jiān)控光譜、厚度及折射率等參數(shù)
· 系統(tǒng)配備大量的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)及數(shù)據(jù)庫
· 對(duì)于每個(gè)被測(cè)薄膜樣品，用戶可以利用先進(jìn)的TFProbe3.0軟件功能選擇使用NK數(shù)據(jù)庫、也可以進(jìn)行色散或者復(fù)合模型（EMA）測(cè)量分析；
· 三種不同水平的用戶控制模式：專家模式、系統(tǒng)服務(wù)模式及初級(jí)用戶模式
· 靈活的專家模式可用于各種獨(dú)特的設(shè)置和光學(xué)模型測(cè)試
· 健全的一鍵按鈕(Turn－key)對(duì)于快速和日常的測(cè)量提供了很好的解決方案
· 用戶可根據(jù)自己的喜好及操作習(xí)慣來配置參數(shù)的測(cè)量
· 系統(tǒng)有著全自動(dòng)的計(jì)算功能及初始化功能
· 無需外部的光學(xué)器件，系統(tǒng)從樣品測(cè)量信號(hào)中，直接就可以對(duì)樣品進(jìn)行精確的校準(zhǔn)
· 可精密的調(diào)節(jié)高度及傾斜度
· 能夠應(yīng)用于測(cè)量不同厚度、不同類型的基片
· 各種方案及附件可用于諸如平面成像、測(cè)量波長擴(kuò)展、焦斑測(cè)量等各種特殊的需求
· 2D和3D的圖形輸出和友好的用戶數(shù)據(jù)管理界面。

系統(tǒng)配置： 
· 型號(hào)：SE200AM-M300;SE500BA系列

· 探測(cè)器：PMT
· 光源：高功率的DUV-Vis光源
· 指示角度變化：根據(jù)設(shè)定的程序，自動(dòng)變化
· 平臺(tái)：ρ-θ配置的自動(dòng)成像
· 軟件：TFProbe 3.2版本的軟件
· 計(jì)算機(jī)：Inter雙核處理器、19”寬屏LCD顯示器
· 電源：110–240V AC/50-60Hz，6A
· 保修：一年的整機(jī)及零備件保修

規(guī)格： 
· 波長范圍：250nm到850 nm
· 波長分辨率: 0.1nm
· 光斑尺寸：1mm至5mm可變
· 入射角范圍：10到90度
· 入射角變化分辨率：5度 間隔
· 樣品尺寸：最大直徑為300mm
· 基板尺寸：最多可至20毫米厚
· 測(cè)量厚度范圍*：0nm?10μm
· 測(cè)量時(shí)間：約1秒/位置點(diǎn) 
· 精確度*：優(yōu)于0.25％
· 重復(fù)性誤差*：小于1 ?

選項(xiàng):                  
· 用于反射的光度測(cè)量或透射測(cè)量
· 用于測(cè)量小區(qū)域的微小光斑
· 用于改變?nèi)肷浣嵌鹊淖詣?dòng)量角器
· X－Y成像平臺(tái)(X-Y模式，取代ρ-θ模式)
· 加熱/致冷平臺(tái)
· 樣品垂直安裝角度計(jì)
· 波長可擴(kuò)展到遠(yuǎn)DUV或IR范圍
· 聯(lián)合MSP的數(shù)字成像功能，可用于對(duì)樣品的圖像進(jìn)行測(cè)量

應(yīng)用:                  
· 半導(dǎo)體制造（PR，Oxide, Nitride..) 
· 液晶顯示（ITO，PR，Cell gap... ..） 
· 醫(yī)學(xué)，生物薄膜及材料領(lǐng)域等
· 油墨，礦物學(xué)，顏料，調(diào)色劑等
· 醫(yī)藥，中間設(shè)備
· 光學(xué)涂層，TiO2, SiO2, Ta2O5... .. 
· 半導(dǎo)體化合物
· 在MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜
· 非晶體，納米材料和結(jié)晶硅
· 太陽能電池工業(yè)

應(yīng)用實(shí)例:   

客戶遍布全球主要科研大學(xué)及主要半導(dǎo)體廠商：

NIST

ISMI

NASA

JPL

Marshall Space Center

Air Force

MIT

Columbia University

UC Berkeley

Georgia Tech

University of Virginia

USTC,China

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Bell Laboratories

HP

GE

Lockheed Martin

Corning

Applied Materials

First Solar

Dow Chemical

Samsung

Texas Instruments

National Semiconductor

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詳情關(guān)注：北京燕京電子有限公司