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全自動(dòng)原子層沉積系統(tǒng)（ALD）

  • 市場(chǎng)價(jià)格： 電議
  • 產(chǎn)品型號(hào)： Firebird Batch Thermal ALD System
  • 更新時(shí)間： 2020/5/27 10:28:16
  • 生產(chǎn)地： 中國大陸
  • 訪問次數(shù)： 284次

    • 公司名稱： 香港電子器材有限公司

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企業(yè)檔案

企業(yè)類型：代理商

公司地址：江蘇省蘇州市東環(huán)路129號(hào)華東大廈東側(cè)201室

主營產(chǎn)品：光學(xué)光電與太陽能光伏、晶圓制造、IC封裝與測(cè)試

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產(chǎn)品簡介
Veeco(之前稱之為Cambridge Nanotech)已經(jīng)有15年以上的ALD研發(fā)生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)。2003年Cambridge Nanotech成立于哈佛大學(xué)，05年搬到Boston并生產(chǎn)出Thermal ALD - Savannah, 之后生產(chǎn)出Plasam ALD - Fuji、批量生產(chǎn)ALD-Phoenix。2017年被Veeco收購，并更新了Batch HVM ALD - Firebird。至今為止，Veeco在ALD設(shè)備已有15年多的經(jīng)驗(yàn)，全球已安裝五百多臺(tái)ALD設(shè)備。

詳細(xì)內(nèi)容

詳細(xì)內(nèi)容

公司簡介

     Veeco(之前稱之為Cambridge Nanotech)已經(jīng)有15年以上的ALD研發(fā)生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)。2003年Cambridge Nanotech成立于哈佛大學(xué)，05年搬到Boston并生產(chǎn)出Thermal ALD - Savannah, 之后生產(chǎn)出Plasam ALD - Fuji、批量生產(chǎn)ALD-Phoenix。2017年被Veeco收購，并更新了Batch HVM ALD - Firebird。至今為止，Veeco在ALD設(shè)備已有15年多的經(jīng)驗(yàn)，全球已安裝五百多臺(tái)ALD設(shè)備。         

方式: Thermal batch ALD

優(yōu)勢(shì):完全自動(dòng)化的批量生產(chǎn)系統(tǒng)，最強(qiáng)生產(chǎn)能力（每月最多40000片），成本低，產(chǎn)量高，極優(yōu)的一致性針對(duì)脆弱/溫度敏感的襯底解決方案，包括LNO/LTO/玻璃模塊化熱管理，以實(shí)現(xiàn)最強(qiáng)工藝靈活性和產(chǎn)量

薄膜: 氧化物薄膜，包含封裝層、光學(xué)涂層氧化物薄膜，包含封裝層、光學(xué)涂層

反應(yīng)腔體大小:  無縫晶片尺寸轉(zhuǎn)換能力高達(dá)300mm

 


關(guān)鍵詞：全自動(dòng)原子層沉積系統(tǒng)（ALD）  

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