Veeco(之前稱之為Cambridge Nanotech)已經(jīng)有15年以上的ALD研發(fā)生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)。2003年Cambridge Nanotech成立于哈佛大學(xué)，05年搬到Boston并生產(chǎn)出Thermal ALD - Savannah, 之后生產(chǎn)出Plasam ALD - Fuji、批量生產(chǎn)ALD-Phoenix。2017年被Veeco收購，并更新了Batch HVM ALD - Firebird。至今為止，Veeco在ALD設(shè)備已有15年多的經(jīng)驗(yàn)，全球已安裝五百多臺(tái)ALD設(shè)備。                                                                                                        

方式: Plasma & Thermal ALD

優(yōu)勢: 標(biāo)準(zhǔn)自動(dòng)加載鎖定集成、加熱、薄箔ALD trap

薄膜: 氮化物AlN, Hf3N4, SiN, TiN, GaN, InN, AlGaN, BN, NbN, NbTiN, VN, TiVN, WN, WCN, TaN, CoN 金屬Ni, Pt, Ru 氧化物Al2O3, HfO2 , Nb2O5, NiO, SiO2, Ta2O5, TiO2, ZnO, ZrO2, Li2O, LiPON, La2O3, SnO2, In2O3, ITO, Ga2O3, MgO, MgxZn1-xO 硫化物ZnS, SnS, Cu2S, In2S3, Cu2ZnSnS4,PbS, CoS, ZnOS等

反應(yīng)腔體大小: 可達(dá)200 mm

設(shè)備尺寸: 1845 x 715 x 1920 mm

操作模式: 連續(xù)模式(傳統(tǒng)Thermal ALD) 曝光模式(超高深寬比) 等離子體模式(等離子體加強(qiáng)ALD)

功率: 220-240 VAC, 4200 W per reactor (不包含泵)

最強(qiáng)溫度: 標(biāo)準(zhǔn)200mm襯底加熱至500°C / 可選100mm襯底加熱至800°C

沉積均一性: 1σ均一性 / Thermal Al2O3 -1.5%, Plasma Al2O3 -1.5%循環(huán)時(shí)間: <2s per cycle with Al2O3 at 200°C

兼容: 標(biāo)準(zhǔn)四端口，可增加至六端口。每一個(gè)源瓶均可放固態(tài)/液態(tài)/氣態(tài)前驅(qū)體，可獨(dú)立加熱至200°C

閥門: 工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)ALD閥門(最小響應(yīng)10ms)

前驅(qū)體源瓶: 50cc(最多填充25ml)不銹鋼氣瓶

載氣/排氣: 100 sccmAr precursor carrier gas MFC  / 500 sccmAr Plasma gas MFC / 100 sccm N2 plasma gas MFC / 100 sc100 sccm H2 plasma gas MFC / cm O2 plasma gas MFC

原位分析選項(xiàng): H2S兼容配件, 原位QCM, 原位橢便儀, RGA端口, 光發(fā)射光譜儀, 樣品高度高達(dá)57mm的晶圓

臭氧發(fā)生器, LVPD, 集成手套箱, 襯底偏壓