HORIBA UVISEL研究級(jí)經(jīng)典型橢偏儀
器簡(jiǎn)介: 20多年技術(shù)積累和發(fā)展的結(jié)晶,是一款高準(zhǔn)確性、高靈敏度、高穩(wěn)定性的經(jīng)典橢偏機(jī)型。即使在透明的基底上也能對(duì)超薄膜進(jìn)行最精確的測(cè)量。采用PEM相位調(diào)制技術(shù),與機(jī)械旋轉(zhuǎn)部件技術(shù)相比,能提 更多詳細(xì)HORIBA UVISEL 2研究級(jí)全自動(dòng)橢偏儀
20多年技術(shù)積累和發(fā)展的結(jié)晶,UVISEL是一款高準(zhǔn)確性、高靈敏度、高穩(wěn)定性的經(jīng)典橢偏機(jī)型。即使在透明的基底上也能對(duì)超薄膜進(jìn)行最精確的測(cè)量。采用PEM相位調(diào)制技術(shù),與機(jī)械旋轉(zhuǎn)部件技術(shù)相比,能提供更好的 更多詳細(xì)HORIBA Smart SE智能型多功能橢偏儀
智能型多功能橢偏儀Smart SE采用多功能性設(shè)計(jì),配置靈活,具備多角度測(cè)量能力,可方便實(shí)現(xiàn)在線與離線配置切換。是一款針對(duì)單層和多層薄膜進(jìn)行簡(jiǎn)單,快速,精確表征和分析的工具。 更多詳細(xì)HORIBA In-situ series在線橢偏儀
鍍膜或刻蝕的過程中,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)樣品膜的膜厚以及光學(xué)常數(shù)(n,k)變化。產(chǎn)品特點(diǎn):將激發(fā)和探測(cè)頭引入生產(chǎn)設(shè)備,可實(shí)現(xiàn):· 動(dòng)態(tài)模式:實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)膜厚變化· 光譜模式:監(jiān)測(cè)薄膜的 更多詳細(xì)