HORIBA UVISEL研究級經(jīng)典型橢偏儀
器簡介: 20多年技術(shù)積累和發(fā)展的結(jié)晶,是一款高準確性、高靈敏度、高穩(wěn)定性的經(jīng)典橢偏機型。即使在透明的基底上也能對超薄膜進行最精確的測量。采用PEM相位調(diào)制技術(shù),與機械旋轉(zhuǎn)部件技術(shù)相比,能提 更多詳細HORIBA Auto SE一鍵式全自動快速橢偏儀
新型的全自動薄膜測量分析工具,工業(yè)化設(shè)計,操作簡單,可在幾秒鐘內(nèi)完成全自動測量和分析,并輸出分析報告。是用于快速薄膜測量和器件質(zhì)量控制理想的解決方案。 更多詳細HORIBA UVISEL 2研究級全自動橢偏儀
20多年技術(shù)積累和發(fā)展的結(jié)晶,UVISEL是一款高準確性、高靈敏度、高穩(wěn)定性的經(jīng)典橢偏機型。即使在透明的基底上也能對超薄膜進行最精確的測量。采用PEM相位調(diào)制技術(shù),與機械旋轉(zhuǎn)部件技術(shù)相比,能提供更好的 更多詳細HORIBA In-situ series在線橢偏儀
鍍膜或刻蝕的過程中,實時監(jiān)測樣品膜的膜厚以及光學(xué)常數(shù)(n,k)變化。產(chǎn)品特點:將激發(fā)和探測頭引入生產(chǎn)設(shè)備,可實現(xiàn):· 動態(tài)模式:實時監(jiān)測膜厚變化· 光譜模式:監(jiān)測薄膜的 更多詳細