PICOSUN®P-300B

PICOSUN®P-300B ALD系統(tǒng)是專為生產(chǎn)MEMS設(shè)備（例如打印頭，傳感器和麥克風(fēng)）以及各種3D物品（例如機(jī)械零件，玻璃或金屬薄板，硬幣，手表零件和珠寶，鏡片，光學(xué)器件以及醫(yī)療設(shè)備和植入物。

PICOSUN®P-300 ALD系統(tǒng)已成為大批量ALD制造中的新標(biāo)準(zhǔn)。通過將我們的熱墻設(shè)計(jì)與完全分開的入口集成在一起，我們可以生產(chǎn)出具有優(yōu)異產(chǎn)量，低顆粒水平以及卓越的電學(xué)和光學(xué)性能的最高質(zhì)量的ALD膜。靈活的設(shè)計(jì)以及易于快速的維護(hù)，確保了系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間最少，市場(chǎng)擁有成本最低。我們專有的Picoflow™擴(kuò)散增強(qiáng)劑技術(shù)可通過經(jīng)過生產(chǎn)驗(yàn)證的工藝，在超高深寬比的基材上實(shí)現(xiàn)高度保形的涂層。

PICOSUN®P-300B ALD系統(tǒng)是專門為MEMS和3維零件生產(chǎn)中的批處理而設(shè)計(jì)的，例如機(jī)械零件，硬幣，鐘表零件和珠寶，鏡片，光學(xué)元件和醫(yī)療設(shè)備，外科植入物和植入物的涂層設(shè)備（PicoMEDICAL™解決方案）。該系統(tǒng)速度快，可靠性高且易于維護(hù)。

PICOSUN®P-300BV

PICOSUN®P-300BV ALD系統(tǒng)是專門為生產(chǎn)LED，分立器件和MEMS設(shè)備（例如打印頭，傳感器和麥克風(fēng)）而設(shè)計(jì)的。

PICOSUN®P-300 ALD系統(tǒng)已成為大批量ALD制造中的新標(biāo)準(zhǔn)。通過將我們的熱墻設(shè)計(jì)與完全分開的入口集成在一起，我們可以生產(chǎn)出具有優(yōu)異產(chǎn)量，低顆粒水平以及卓越的電學(xué)和光學(xué)性能的最高質(zhì)量的ALD膜。靈活的設(shè)計(jì)以及易于快速的維護(hù)，確保了系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間最少，市場(chǎng)擁有成本最低。我們專有的Picoflow™擴(kuò)散增強(qiáng)劑技術(shù)可通過經(jīng)過生產(chǎn)驗(yàn)證的工藝，在超高深寬比的基材上實(shí)現(xiàn)高度保形的涂層。

PICOSUN®P-300BV ALD系統(tǒng)代表了工業(yè)ALD的尖端。該系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于半自動(dòng)處理晶圓批次。該工具針對(duì)快速批量生產(chǎn)進(jìn)行了優(yōu)化，可以通過SECS / GEM選件集成到工廠自動(dòng)化中。帶有加熱選件的真空加載系統(tǒng)能夠?qū)γ舾谢�材進(jìn)行清潔處理，并沉積諸如金屬氮化物之類的材料。

PICOSUN®P-300S

PICOSUN®P-300S ALD系統(tǒng)是專門為生產(chǎn)IC組件（例如微處理器，存儲(chǔ)器和硬盤驅(qū)動(dòng)器）而設(shè)計(jì)的，并且還適用于MEMS設(shè)備（例如打印頭，傳感器和麥克風(fēng)）。

PICOSUN®P-300 ALD系統(tǒng)已成為大批量ALD制造中的新標(biāo)準(zhǔn)。通過將我們的熱墻設(shè)計(jì)與完全分開的入口集成在一起，我們可以生產(chǎn)出具有優(yōu)異產(chǎn)量，低顆粒水平以及卓越的電學(xué)和光學(xué)性能的最高質(zhì)量的ALD膜。靈活的設(shè)計(jì)以及易于快速的維護(hù)，確保了系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間最少，市場(chǎng)擁有成本最低。我們專有的Picoflow™擴(kuò)散增強(qiáng)劑技術(shù)可通過經(jīng)過生產(chǎn)驗(yàn)證的工藝，在超高深寬比的基材上實(shí)現(xiàn)高度保形的涂層。

PICOSUN®P-300S ALD系統(tǒng)代表了工業(yè)ALD的尖端。該系統(tǒng)旨在與行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)真空集群平臺(tái)結(jié)合使用，對(duì)單個(gè)晶圓進(jìn)行全自動(dòng)處理�？梢酝ㄟ^SECS / GEM選件將SEMI S2 / S8認(rèn)證的P-300S ALD系統(tǒng)集成到工廠自動(dòng)化中，它們可以滿足半導(dǎo)體行業(yè)最嚴(yán)格的清潔度要求。

PICOSUN®P-300S是IC創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)行業(yè)的首選ALD系統(tǒng)。

PICOSUN®P-1000

PICOSUN®P-1000 ALD系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于批量噴涂各種3D物品，例如機(jī)械零件，玻璃或金屬薄板，硬幣，手表零件和珠寶，鏡片，光學(xué)器件以及醫(yī)療設(shè)備和植入物。

PICOSUN®P-1000 ALD系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于批量處理各種3維物品，例如機(jī)械零件，硬幣，鐘表零件和珠寶，鏡片，光學(xué)器件和醫(yī)療設(shè)備，外科植入物和可植入設(shè)備（PicoMEDICAL™解決方案）在生產(chǎn)環(huán)境中。主要應(yīng)用包括各種鈍化層和阻擋層，以顯著提高涂層產(chǎn)品的性能和使用壽命。 PICOSUN®P-1000 ALD系統(tǒng)提供創(chuàng)新且靈活的設(shè)計(jì)，可通過經(jīng)過生產(chǎn)驗(yàn)證的工藝，以優(yōu)異的均勻性，最高的產(chǎn)量，最小的系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間和較低的擁有成本，實(shí)現(xiàn)最高質(zhì)量的ALD沉積。

PICOSUN®P-1000 ALD系統(tǒng)可靠，快速且易于維護(hù)，代表了工業(yè)ALD的前沿。

PICOSUN®Morpher

PICOSUN®Morpher ALD產(chǎn)品平臺(tái)旨在顛覆Beyond和超越摩爾技術(shù)中的200毫米晶圓產(chǎn)業(yè)。它以領(lǐng)先的過程質(zhì)量，可靠性和操作敏捷性，實(shí)現(xiàn)了MEMS，傳感器，LED，激光器，功率電子器件，光學(xué)器件和5G組件的快速，全自動(dòng)，高通量生產(chǎn)。從公司研發(fā)到生產(chǎn)和鑄造制造的所有業(yè)務(wù)領(lǐng)域，Morpher都能適應(yīng)您行業(yè)不斷變化的需求和客戶的需求。基質(zhì)材料，基質(zhì)和批量大小方面的領(lǐng)先多功能性以及廣泛的工藝范圍，使Morpher真正成為可轉(zhuǎn)變的，包羅萬象的制造設(shè)施，使您始終引領(lǐng)行業(yè)。

PICOSUN®Morpher設(shè)計(jì)用于結(jié)合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的單晶圓真空集群平臺(tái)來全自動(dòng)處理晶圓批次。革命性的獲得的晶圓批量翻轉(zhuǎn)機(jī)制使該系統(tǒng)能夠與半導(dǎo)體生產(chǎn)線集成，在該生產(chǎn)線中，大多數(shù)處理都是在水平幾何結(jié)構(gòu)中進(jìn)行的，并且SEMI S2 / S8認(rèn)證可確保該系統(tǒng)與業(yè)界最嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)兼容。

PICOSUN®Morpher ALD系統(tǒng)可通過SECS / GEM協(xié)議集成到工廠自動(dòng)化中，而最先進(jìn)的軟件可通過直觀，精簡的圖形用戶界面為系統(tǒng)提供簡單，安全和無故障的操作。憑借我們獲得的雙室，熱壁反應(yīng)器設(shè)計(jì)以及完全分離的前驅(qū)體導(dǎo)管和入口，我們可以創(chuàng)造出最高質(zhì)量的ALD膜，具有優(yōu)異的產(chǎn)率，低顆粒水平以及出色的電學(xué)和光學(xué)性能。緊湊的，符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)以及便捷的維護(hù)，確保了系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間最少，市場(chǎng)擁有成本最低。