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光譜橢偏儀

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企業(yè)檔案

企業(yè)類型:生產(chǎn)商

公司地址:沈陽(yáng)市渾南區(qū)渾南中路35-27號(hào)國(guó)際產(chǎn)業(yè)園 沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司

主營(yíng)產(chǎn)品:  沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司于2000年5月創(chuàng)建。自臺(tái)SYJ-150低速金剛石切割機(jī)誕生以來,沈陽(yáng)科晶便開始了以趕超國(guó)外同行、引領(lǐng)材料分析設(shè)備潮流為目標(biāo)的發(fā)展歷程。時(shí)至今日,已經(jīng)擁有涵蓋材料切割、研磨、拋光、涂膜、鍍膜、混合、壓軋、燒結(jié)、分析等領(lǐng)域以及相關(guān)耗材的上百種產(chǎn)品,可以滿足晶體、陶瓷、玻璃、巖相、礦樣、金屬材料、耐火材料、復(fù)合材料的制備分析的全套需要。

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:SE-L光譜橢偏儀是一款全自動(dòng)高精度光譜橢偏儀,集眾多科技專利技術(shù),采用行業(yè)前沿創(chuàng)新技術(shù),配置全自動(dòng)測(cè)量模塊。通過橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測(cè)量,快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)參數(shù)薄膜和納米結(jié)構(gòu)的表征分析。SE-L光譜橢偏儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體薄膜結(jié)構(gòu):介電薄膜、金屬薄膜、高分子、光刻膠、硅、PZT膜,激光二極管GaN和AlGaN、透明的電子器件、平板顯示、光伏太陽(yáng)能、功能性涂料、生物和化學(xué)工程、塊狀材料分析等領(lǐng)域。

詳細(xì)內(nèi)容

詳細(xì)內(nèi)容

公司簡(jiǎn)介

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:SE-L光譜橢偏儀是一款全自動(dòng)高精度光譜橢偏儀,集眾多科技專利技術(shù),采用行業(yè)前沿創(chuàng)新技術(shù),配置全自動(dòng)測(cè)量模塊。通過橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測(cè)量,快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)參數(shù)薄膜和納米結(jié)構(gòu)的表征分析。SE-L光譜橢偏儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體薄膜結(jié)構(gòu):介電薄膜、金屬薄膜、高分子、光刻膠、硅、PZT膜,激光二極管GaN和AlGaN、透明的電子器件、平板顯示、光伏太陽(yáng)能、功能性涂料、生物和化學(xué)工程、塊狀材料分析等領(lǐng)域。

 

產(chǎn)品型號(hào)

SE-L光譜橢偏儀

主要特點(diǎn)

1、高精度自動(dòng)測(cè)量光學(xué)橢偏測(cè)量解決方案

2、全自動(dòng)變角、調(diào)焦等控制平臺(tái),一鍵快速測(cè)量

3、軟件交互式界面配合輔助向?qū)皆O(shè)計(jì),易上手、操作便捷

4、豐富的數(shù)據(jù)庫(kù)和幾何結(jié)構(gòu)模型庫(kù),保證強(qiáng)大數(shù)據(jù)分析能力

5、采用氘燈和鹵素?zé)魪?fù)合光源,光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-2500nm)

6、高精度旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制、PCRSA配置,實(shí)現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集

7、全自動(dòng)橢偏測(cè)量技術(shù),基于行業(yè)領(lǐng)先電機(jī)控制技術(shù),全自動(dòng)調(diào)整測(cè)量角度,高精度控制樣件臺(tái),實(shí)現(xiàn)樣件快速自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)找焦

8、頤光專利技術(shù)確保在寬光譜范圍內(nèi),提供優(yōu)質(zhì)穩(wěn)定的各波段光譜

9、數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫(kù)、多種算法模型庫(kù),涵蓋了目前絕大部分的光電材料

技術(shù)參數(shù)

1、自動(dòng)化程度:自動(dòng)變角

2、應(yīng)用定位:自動(dòng)型

3、基本功能:Psi/Delta、N/C/S、R/T等光譜

4、分析光譜:380-1000nm(可擴(kuò)至193-2500nm)

5、單次測(cè)量時(shí)間:0.5-5s

6、重復(fù)性測(cè)量精度:0.01nm

7、光斑大。捍蠊獍2-3mm,微光斑200um

8、入射角調(diào)節(jié)方式:自動(dòng)變角

9、入射角范圍:45-90°

10、找焦方式:自動(dòng)找焦

11、Mapping行程:支持100x100mm(可選配)

12、支持樣件尺寸:最大至200mm

可選配置

波段選擇

V:380-1000nm

UV:245-1000nm

XN:210-1650nm

DN+:193-2500nm

角度選擇

自動(dòng):45-90°

其他選擇

Mapping選擇:100×100mm(供參考,按需定制)

溫控臺(tái):室溫一600℃(供參考,按需定制)

可選配件

1

溫控臺(tái)

2

Mapping擴(kuò)展模塊

3

真空泵

4

透射吸附組件



關(guān)鍵詞:光譜橢偏儀  

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