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日立高分辨型雙束系統(tǒng)NX5000

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企業(yè)檔案

企業(yè)類型：生產(chǎn)商

公司地址：北京市朝陽區(qū)紅軍營南路天暢園7號樓1,3層

主營產(chǎn)品：表面科學(xué)、分析儀器、生命科學(xué)設(shè)備及實驗室儀器

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產(chǎn)品簡介
日立高分辨型雙束系統(tǒng)NX5000可以避免樣品損傷，為超薄樣品和復(fù)雜的制備提供了新的解決方案，可以滿足納米材料、半導(dǎo)體材料、生物材料等多種樣品的快速、無損、精細加工。

詳細內(nèi)容

詳細內(nèi)容

公司簡介

產(chǎn)品介紹：

NX5000新型高分辨FIB-SEM雙束系統(tǒng)采用冷場發(fā)射電子槍和全新的Aquila α鏡筒，具有高分辨的觀察能力；同時大束流的離子槍和實時觀察功能使其具有超高的加工效率。獨特的第三束（Ar）加工可以避免樣品損傷，為超薄樣品和復(fù)雜的制備提供了新的解決方案，可以滿足納米材料、半導(dǎo)體材料、生物材料等多種樣品的快速、無損、精細加工。


主要特點：

1.      高分辨冷場發(fā)射電子槍，實現(xiàn)高分辨觀察（0.7nm@15kV）

2.      全新的Aquila α鏡筒和多探測器實現(xiàn)不同觀察目的

3.      大束流（100nA）、高穩(wěn)定性離子槍實現(xiàn)快速加工

4.      實時觀察、多探針系統(tǒng)和7軸樣品臺等技術(shù)有效防止窗簾效應(yīng)

5.      第三束Ar的引入實現(xiàn)無損和超薄樣品的加工

6.      多種沉積氣體可選

7.      全自動TEM樣品制備

 

應(yīng)用領(lǐng)域：

納米材料微加工

半導(dǎo)體及電子元器件加工

生命科學(xué)



關(guān)鍵詞：

公司同類產(chǎn)品

  • 日立高分辨型雙束系統(tǒng)

    日立高分辨型雙束系統(tǒng)
    NX5000新型高分辨FIB-SEM雙束系統(tǒng)采用冷場發(fā)射電子槍和全新的Aquila α鏡筒，具有高分辨的觀察能力；同時大束流的離子槍和實時觀察功能使其具有超高的加工效率。獨特的第三束（Ar）加工可以避 更多詳細

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