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詳細(xì)內(nèi)容
產(chǎn)品介紹：
NX2000新型雙束系統(tǒng)（超高精密聚焦離子束FIB和高分辨場發(fā)射電鏡FE-SEM），具有高效率的樣品制備能力、高精度納米微加工能力和高分辨圖像觀察能力。新的低損傷加工技術(shù)可以很好的滿足感光材料和電子束曝光應(yīng)用的需求；而新開發(fā)的微樣品取樣、樣品裝載和樣品導(dǎo)航功能則進(jìn)一步提高了分析效果。
主要特點：
1. 高分辨成像，高襯度成像分辨率：二次電子（3.5nm@1kV），二次離子（4nm@30kV），
2. 可實時觀察加工過程
3. 全自動TEM樣品制備
4. 高精度加工
5. 大樣品倉
6. 可選多種氣體注入
7. 可選Ar和Xe離子源
應(yīng)用領(lǐng)域：
1. 納米材料微加工
2. 半導(dǎo)體及電子元器件材料
3. 生命科學(xué)
技術(shù)參數(shù)：
關(guān)鍵詞：
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