儀器簡介:
隨著納米技術(shù)、MEMS技術(shù)、半導(dǎo)體工業(yè)的飛速發(fā)展,對納米級精度的移動定位裝置、操縱裝置、加工裝置等的需求也在快速增長。為了滿足這一市場需要,我們推出了一系列納米定位、微操縱裝置。
納米精度定位裝置
該系列產(chǎn)品設(shè)計極為緊湊,可以使樣品或探針作直線或旋轉(zhuǎn)移動。而且很多型號可以工作在極端環(huán)境條件下,例如極低溫、超高真空、強磁場等。這些設(shè)備可以提供多種不同尺寸和材料,開辟了一個全新的定位設(shè)備的市場,在很多領(lǐng)域開拓了全新的研究方向。
●適應(yīng)各種極端工作環(huán)境:低溫、超高真空、強磁場
●提供多種運動自由度:XYZ直線、旋轉(zhuǎn)、XY掃描、Z掃描、Θ、Φ等等,并且可以任意組合
●定位精度高達納米級
●極高的穩(wěn)定性,無機械漂移、無回差、無需高壓
●負載大,可達自重的數(shù)倍
●部分型號具有兩種工作模式,單獨一個設(shè)備既可以實現(xiàn)粗定位,也可以用于掃描
●部分型號可選配多種位置讀出設(shè)備,實現(xiàn)閉環(huán)控制
●可根據(jù)客戶要求定制各種特殊定位裝置
納米級操縱裝置,適用于SEM, TEM, FIB系統(tǒng)
納米馬達
擁有原子量級分辨率,運動行程達厘米級,橫跨8個數(shù)量級,可提升6倍于自身重量的物體,并適應(yīng)多種工作環(huán)境,包括超高真空、磁場、甚至液氮。
納米定位平臺
●最大承重量為2kg
●行程:5~70mm
●運動速度:< 2 mm/s
●運動分辨率:2nm
●定位傳感器分辨率:<10nm
機械手
包括微操作機械手、力反饋機械手、XYZ機械手等,可對夾持力進行精確控制,具有分辨率高,行程大,設(shè)計靈活等特點。
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關(guān)鍵詞:
自1999年成立以來,北京匯德信科技有限公司始終秉承“誠信、業(yè)、創(chuàng)新”的宗旨,將國際上先進的納米科學(xué)技術(shù)設(shè)備引進到國內(nèi)。我們與德國亞琛工業(yè)大學(xué)、德國明斯特大學(xué)、德國斯圖加特大學(xué)、德國卡爾斯魯爾納米中心及德國Max-Planck研究所等知名科研院所有著緊密的合作,并系統(tǒng)地代理了Allresist(光刻膠)、Novocontrol(寬頻介電阻抗譜儀)、 Keller(紅外測溫儀)等多家國際知名高新技術(shù)企業(yè)產(chǎn)品。產(chǎn)品覆蓋了微納米制造、檢測、分析等相關(guān)域。產(chǎn)品已經(jīng)被國內(nèi)眾多科研院所、大學(xué)及工業(yè)用戶使用,并得到用戶一致好評和認(rèn)可。
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