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美國Trion反應(yīng)離子刻蝕與沉積系統(tǒng)

企業(yè)檔案

深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司

7 營業(yè)執(zhí)照已上傳

企業(yè)類型:代理商

公司地址:深圳市寶安區(qū)福海街道展城社區(qū)展景路83號會展灣中港廣場6棟B座902

主營產(chǎn)品:機(jī)械設(shè)備研發(fā),工程和技術(shù)研究和試驗(yàn)發(fā)展,半導(dǎo)體器件專用設(shè)備銷售,光學(xué)儀器銷售,電子測量儀器銷售,實(shí)驗(yàn)分析儀器銷售,電子專用材料銷售。

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產(chǎn)品簡介

Oracle III由中央真空傳輸系統(tǒng)(CVT)、真空盒升降機(jī)和最多四個工藝反應(yīng)室構(gòu)成。這些工藝反應(yīng)室與中央負(fù)載鎖對接,既能夠以生產(chǎn)模式運(yùn)行,也能夠作為單個系統(tǒng)獨(dú)立作業(yè)。 Oracle III是市場上最靈活的系統(tǒng),既可以為實(shí)驗(yàn)室環(huán)境進(jìn)行配置(使用單基片裝卸),也可以為批量生產(chǎn)進(jìn)行配置(使用真空盒升降機(jī)進(jìn)行基片傳送)。

詳細(xì)內(nèi)容

詳細(xì)內(nèi)容

公司簡介

美國Trion Technology
反應(yīng)式離子刻蝕系統(tǒng)及沉積系統(tǒng)

Trion始于一九八九年的等離子刻蝕與沉積系統(tǒng)制造商,Trion為化合物半導(dǎo)體、MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))、光電器件以及其他半導(dǎo)體市場提供多種設(shè)備。我們的產(chǎn)品在業(yè)內(nèi)以系統(tǒng)占地面積最小、成本低而著稱,且設(shè)備及工藝的可靠性和穩(wěn)定性久經(jīng)考驗(yàn)。從整套的批量生產(chǎn)用設(shè)備,到簡單的實(shí)驗(yàn)室研發(fā)用系統(tǒng),盡在Trion。 

批量生產(chǎn)用設(shè)備:

Oracle III反應(yīng)離子刻蝕與沉積系統(tǒng)


Oracle III由中央真空傳輸系統(tǒng)(CVT)、真空盒升降機(jī)和最多四個工藝反應(yīng)室構(gòu)成。這些工藝反應(yīng)室與中央負(fù)載鎖對接,既能夠以生產(chǎn)模式運(yùn)行,也能夠作為單個系統(tǒng)獨(dú)立作業(yè)。 Oracle III是市場上最靈活的系統(tǒng),既可以為實(shí)驗(yàn)室環(huán)境進(jìn)行配置(使用單基片裝卸),也可以為批量生產(chǎn)進(jìn)行配置(使用真空盒升降機(jī)進(jìn)行基片傳送)。

由于Oracle III 最多可容納四個獨(dú)立的工藝室,其可以有多種不同的工藝組合,其中包括RIE/ICP (
反應(yīng)離子刻蝕機(jī)/電感耦合等離子)刻蝕和PECVD 沉積。多個室可以同時工作。鑒于所有工藝室均有真空負(fù)載鎖,工藝運(yùn)行安全且沒有大氣污染。


 

 


 

關(guān)鍵詞:美國Trion  Oracle  III  反應(yīng)離子刻蝕與沉積系統(tǒng)  離子刻蝕與沉積  

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