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場發(fā)射掃描電子顯微鏡

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企業(yè)檔案

企業(yè)類型：生產(chǎn)商

公司地址：北京市朝陽區(qū)紅軍營南路天暢園7號樓1,3層

主營產(chǎn)品：表面科學、分析儀器、生命科學設(shè)備及實驗室儀器

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產(chǎn)品簡介
"Regulus系列"是日立高新技術(shù)的FE-SEM的全新品牌，包括作為SU8010的后續(xù)機型開發(fā)的 "Regulus8100" 以及SU8200系列的升級 "Regulus8220" "Regulus8230" "Regulus8240"，共4個機型，均實現(xiàn)了分辨率和操作性的強化。

詳細內(nèi)容

詳細內(nèi)容

公司簡介

"Regulus系列"是日立高新技術(shù)的FE-SEM的全新品牌，包括作為SU8010的后續(xù)機型開發(fā)的 "Regulus8100" 以及SU8200系列的升級 "Regulus8220" "Regulus8230" "Regulus8240"，共4個機型，均實現(xiàn)了分辨率和操作性的強化。

 

　　掃描電子顯微鏡（SEM）被廣泛應(yīng)用于納米技術(shù)，半導體?電子行業(yè)，生命科學，材料科學等領(lǐng)域的材料結(jié)構(gòu)觀察。近年來，新一代的電子器件應(yīng)用中受到廣泛期待的新型碳材料，高分子材料，復合材料等的研究作為先進科學技術(shù)的中堅技術(shù)，在全世界范圍內(nèi)受到熱捧。掃描電子顯微鏡廣泛用于這些材料的觀察?評價，但僅僅具有超高分辨率還遠遠不夠。還要求能在低加速電壓下對表面細微結(jié)構(gòu)的觀察和高靈敏度的元素分析。除此之外，在長期的研究過程中還追求電鏡的性能的持續(xù)穩(wěn)定和信賴性。

 

　　本次發(fā)布的新品牌 "Regulus系列" 電子光學系統(tǒng)進行了最優(yōu)化處理，使得著陸電壓在1kV時分辨率較前代機型提高了約20％。"Regulus8220/8230/8240"達到0.7nm，"Regulus8100"為0.8 nm的分辨率。另外，最適合低加速電壓下高分辨觀察的冷場電子槍可將樣品的細節(jié)放大，并獲得高質(zhì)量的圖片。最大放大倍率也由之前的100萬倍提高到了200萬倍。
除此之外，為了能更好的應(yīng)對不同樣品的測試和保持并發(fā)揮出高性能，還對用戶輔助工能進行了強化，如信號檢測系統(tǒng)的操作輔助功能，維護輔助功能等。

主要特點

  1. 搭載了色差極小的適合低加速電壓高分辨率觀察的冷場電子槍

  2. 跟前代機型相比分辨率大約提高了20%
    （Regulus8220/8230/8240：0.7 nm/1 kV，Regulus8100：0.8 nm/1 kV）

  3. 最大倍率從原來的100萬倍提高到200萬倍*1

  4. 用戶輔助功能，幫助用戶把儀器的高性能完全發(fā)揮出來


主要參數(shù)

名稱 Regulus8100 Regulus8240/8230/8220
二次電子分辨率 0.7 nm（加速電壓 15 kV）
0.8 nm（著陸電壓 1 kV）*2		 0.6 nm（加速電壓 15 kV）
0.7 nm（著陸電壓 1 kV）*2
加速電壓 0.5~30 kV 0.5~30 kV
著陸電壓*2 0.1~2 kV 0.01~20 kV
倍率 20~1,000,000倍*3 20~2,000,000倍*3
馬達臺控制 3軸自動*4 5軸自動

*1       僅限 Regulus8240/8230/8220

*2       減速模式觀察

*3       127 mm × 95 mm 視野的畫面倍率

*4       5軸馬達臺為選配項


關(guān)鍵詞：場發(fā)射掃描電子顯微鏡  

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