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產(chǎn)品屬性本產(chǎn)品采購屬于商業(yè)貿(mào)易行為

聚焦離子束系統(tǒng)

  • 市場(chǎng)價(jià)格： 電議
  • 產(chǎn)品型號(hào)： FB2200
  • 更新時(shí)間： 2025/6/6 13:53:38
  • 生產(chǎn)地： 日本
  • 訪問次數(shù)： 902次

    • 公司名稱： 日立分析儀器（上海）有限公司

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企業(yè)檔案

企業(yè)類型：生產(chǎn)商

公司地址：北京市朝陽區(qū)東三環(huán)北路5號(hào)北京發(fā)展大廈1405室

主營(yíng)產(chǎn)品：電子顯微鏡、原子力顯微鏡和分析儀器（色譜、光譜、熱分析）等

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
新一代系統(tǒng)，效率更高，精度更高，質(zhì)量更高。具有大面積離子銑能力，提供高速透射電子顯微鏡樣品制備。

詳細(xì)內(nèi)容

詳細(xì)內(nèi)容

公司簡(jiǎn)介

新一代系統(tǒng)，效率更高，精度更高，質(zhì)量更高。
具有大面積離子銑能力，提供高速透射電子顯微鏡樣品制備。

  • 60納安離子束電流，提高了做樣效率。
  • 低加速原位電壓，樣品制備損壞率低。
  • 采用日立專利超薄樣品制備技術(shù)（*），可制作出極微小精度的薄膜樣品。
  • 與日立其它掃描電子顯微鏡，透射電子顯微鏡，掃描透射電子顯微鏡使用共用樣品桿（*），可快速簡(jiǎn)單轉(zhuǎn)移樣品，便于進(jìn)一步成像和分析。

（*）選購件

超薄樣品制備附件

該附件用于制備STEM，TEM等觀察用的超薄樣品，它是在FIB真空樣品倉內(nèi)通過離子束定點(diǎn)切割晶圓的目標(biāo)位置，并用操縱器將超薄樣品提出來的一種系統(tǒng)。使用該附件可以大大提高樣品制備的位置精度，同時(shí)樣品制備時(shí)間也縮短到半小時(shí)以內(nèi)。（該技術(shù)已經(jīng)在日本和美國(guó)申請(qǐng)了專利）。

 

三維分析樣品桿

使用該旋轉(zhuǎn)樣品桿可在STEM和FIB上觀察用FIB系統(tǒng)加工出來的微小柱狀樣品。，該三維旋轉(zhuǎn)樣品桿可有效適用于小型化電子設(shè)備三維結(jié)構(gòu)評(píng)估以及立體故障分析。
 

CAD導(dǎo)航系統(tǒng)
故障分析導(dǎo)航系統(tǒng)（NASFA）

該導(dǎo)航系統(tǒng)可以將CAD數(shù)據(jù)的布線和大規(guī)模集成電路的設(shè)計(jì)圖形和FIB的觀察圖像相對(duì)應(yīng)起來。當(dāng)CAD系統(tǒng)中的坐標(biāo)位置，樣品臺(tái)就會(huì)通過鏈接移動(dòng)到相應(yīng)位置，就可以獲得相應(yīng)位置的SIM圖像。同時(shí)，CAD數(shù)據(jù)和SIM圖像也可以重疊顯示。因此，很容易檢查到下層布線的狀態(tài)，實(shí)質(zhì)上提高了分析的效率，有利于進(jìn)一步進(jìn)行修理工作。


關(guān)鍵詞：聚焦離子束系統(tǒng)  

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