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日立高新超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡

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企業(yè)檔案

企業(yè)類型：生產(chǎn)商

公司地址：北京市朝陽區(qū)東三環(huán)北路5號北京發(fā)展大廈1405室

主營產(chǎn)品：電子顯微鏡、原子力顯微鏡和分析儀器（色譜、光譜、熱分析）等

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產(chǎn)品簡介
日立高新超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡SU9000是專門為電子束敏感樣品和需最大300萬倍穩(wěn)定觀察的先進半導體器件，高分辨成像所設計。新的電子槍和電子光學設計提高了低加速電壓性能。

詳細內(nèi)容

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公司簡介

日立高新超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡SU9000是專門為電子束敏感樣品和需最大300萬倍穩(wěn)定觀察的先進半導體器件，高分辨成像所設計。

  • 新的電子槍和電子光學設計提高了低加速電壓性能。

    • 0.4nm / 30kV（SE）

    • 1.2nm / 1kV（SE）

    • 0.34nm / 30kV（STEM）

  • 用改良的高真空性能和無與倫比的電子束穩(wěn)定性來實現(xiàn)高效率截面觀察。

  • 采用全新設計的Super E x B能量過濾技術(shù)，高效，靈活地收集SE / BSE/ STEM信號。

    日立高新超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡SU9000是專門為電子束敏感樣品和需最大300萬倍穩(wěn)定觀察的先進半導體器件，高分辨成像所設計。 新的電子槍和電子光學設計提高了低加速電壓性能。 0.4nm / 30kV（SE） 1.2nm / 1kV（SE） 0.34nm / 30kV（STEM） 用改良的高真空性能和無與倫比的電子束穩(wěn)定性來實現(xiàn)高效率截面觀察。 采用全新設計的Super E x B能量過濾技術(shù)，高效，靈活地收集SE / BSE/ STEM信號。

日立高新技術(shù)公司是日立集團旗下的一家儀器設備子公司。全球雇員超過10000人，在世界上26個及地區(qū)共有百余處經(jīng)營網(wǎng)點。企業(yè)發(fā)展目標是"成為獨步全球的高新技術(shù)和解決方案提供商"，產(chǎn)品與服務涵蓋領域廣泛,包括半導體制造、生命科學、電子零配件、液晶制造及工業(yè)電子材料。
關(guān)鍵詞：日立高新超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡  

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