智能型HMDS真空系統(tǒng)(JS-HMDS90-AI)@2023已更新報(bào)價推薦
在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成 更多詳細(xì)等離子清洗機(jī),等離子表面處理儀
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