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RTP快速退火爐,快速熱處理設(shè)備(RTP)

企業(yè)檔案

上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司

12 營業(yè)執(zhí)照已上傳

企業(yè)類型:生產(chǎn)商

公司地址:上海奉賢臨海工業(yè)區(qū)818號

主營產(chǎn)品:HMDS預(yù)處理系統(tǒng),智能HMDS烘箱,無氧化烘箱,真空無氧烤箱,氮?dú)夂嫦,潔凈烤箱,無氧烤箱,無塵無氧固化烤箱,高精度加熱臺,精密恒溫?zé)岚,烤膠臺,LED烤箱,PI/CPI/BCB/PBO/LCP固化烤箱,氮?dú)夤,半?dǎo)體工藝設(shè)備。黑蒜加工設(shè)備,黑蒜發(fā)酵設(shè)備,超低溫試驗(yàn)箱,超低溫沖擊試驗(yàn)箱,-150度高低溫試驗(yàn)箱,恒溫恒濕試驗(yàn)箱,真空烘箱,熱風(fēng)真空烤箱,環(huán)境檢測儀器,實(shí)驗(yàn)室研究儀器,橡塑檢測儀器,電纜檢測儀器設(shè)備等。

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產(chǎn)品簡介

RTP系列快速合金設(shè)備具有快速升降溫、慢速升降溫、和長工作時間穩(wěn)定等特點(diǎn)。也可用于各種半導(dǎo)體材料的CVD工藝的熱處理。

詳細(xì)內(nèi)容

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公司簡介

RTP快速退火爐,快速熱處理設(shè)備(RTP)簡介
    快速熱處理設(shè)備(RTP)可用于砷化鎵、硅以及其他半導(dǎo)體材料,離子注入后的退火、硅化物的形成、歐姆接觸制備以及快速氧化、快速氮化等方面。RTP快速退火爐,快速熱處理設(shè)備(RTP)具有快速升降溫、慢速升降溫、和長工作時間穩(wěn)定等特點(diǎn)。也可用于各種半導(dǎo)體材料的CVD工藝的熱處理。
RTP快速退火爐,快速熱處理設(shè)備(RTP)主要技術(shù)指標(biāo)
  l、外形尺寸:550×650×650mm(長×寬×高)
  2、爐內(nèi)體尺寸:327×249×123mm(長×寬×高)
   3、工作室采用進(jìn)口GE石英,外徑尺寸:290×230×24mm(長×寬×高);表面進(jìn)行磨砂處理
  4、不銹鋼反應(yīng)室上下反射面聚焦設(shè)計(jì),內(nèi)表面采用鍍金處理,減小熱損失,極大提高了反射效率
  5、水冷卻,確保燈箱散熱與快速降溫
  6、風(fēng)扇冷卻保證加熱燈的冷卻
  7、最大溫度范圍150℃—1000℃,K型熱電偶
  8、升溫速率:0.01—100℃/s可預(yù)設(shè)定
  9、氣體:兩路美國進(jìn)口浮子流量計(jì)控制,流量:0—5L/min
  10、采用歐陸2604高精度溫控儀控制溫度
  11、可編程多條溫度曲線
  l2、雙閉環(huán)控制溫度,穩(wěn)態(tài)溫度穩(wěn)定性±1℃
  l3、光源:1200W×21只鹵鎢燈
  l4、電源:AC380V;63A三相
  l5、有效加熱區(qū):180×180mm
  l6、石英承片架Ф160mm;配6英寸硅片承片板
 
關(guān)鍵詞:RTP快速退火爐  快速熱處理設(shè)備(RTP)  快速熱處理爐  

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