儀器簡(jiǎn)介：
 

VEGA3 InduSEM是一款可移動(dòng)的掃描電鏡，可完全滿足工業(yè)生產(chǎn)線上隨時(shí)移動(dòng)、隨時(shí)檢測(cè)的要求，并以高品質(zhì),完全計(jì)算機(jī)控制,用戶友好界面為基礎(chǔ).具有使用方便,產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定,分析高效為特點(diǎn)的獨(dú)創(chuàng)設(shè)計(jì). 
1.獨(dú)有的四透鏡大視野光學(xué)（Wide Field Optics™）和Tescan特有可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設(shè)計(jì)，提供了多種工作模式和顯示模式。 
2.成像速度快。 
3.鏡筒內(nèi)沒(méi)有需要機(jī)械對(duì)中結(jié)構(gòu)，取而代之的是容易操作和保養(yǎng)的固定光闌。 
4.以電磁的方式改變有效物鏡光闌——中間鏡起到“光闌轉(zhuǎn)換器”的作用。 
5.高吞吐量/自動(dòng)取域。例：自動(dòng)顆粒定點(diǎn)分析。 
6.出眾的電動(dòng)載臺(tái)設(shè)計(jì)，支持能譜儀（EDX），波譜儀（WDX），背散射電子衍射儀（EBSD）。 
7.由于使用了強(qiáng)力的渦淪分子泵和機(jī)械真空泵，因而可以快速簡(jiǎn)單得到干凈的真空樣品室。 
8.完善的顯微鏡自動(dòng)設(shè)置包括電子光路設(shè)置和對(duì)中。 
9.網(wǎng)絡(luò)操作和內(nèi)置的遠(yuǎn)程監(jiān)控/診斷是Tescan的標(biāo)準(zhǔn)配備。 
10.強(qiáng)大的自動(dòng)功能:全自動(dòng)真空控制,燈絲自動(dòng)加熱,自動(dòng)電子槍校正 (Auto gun alignment),改變加速電壓，自動(dòng)補(bǔ)償偏壓,改變電子束大小， 
自動(dòng)調(diào)整電子束大小,依據(jù)訊號(hào)/噪聲比自動(dòng)調(diào)整掃描速度,自動(dòng)對(duì)比/亮度調(diào)整,自動(dòng)聚焦,自動(dòng)調(diào)整像差等。 
11.完全自動(dòng)的軟件安裝. 
12.強(qiáng)大的圖象處理功能,使用專(zhuān)業(yè)的電鏡控制軟件,圖像抓取,加工,處理和分析; 
I.影像顯示尺寸 
1)實(shí)時(shí)圖像顯示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024等3種方式。 
2)儲(chǔ)存圖像顯示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024, 1280x1280, 1536x1536, 2048x2048, 2560x2560, 4096x4096，8192x8192等9種方式。 
3)同時(shí)可選擇正方形、4x3長(zhǎng)方形、2x1長(zhǎng)方形等3種尺寸。 
4)可同時(shí)顯示任意張實(shí)時(shí)影像或儲(chǔ)存影像。 
II.掃描速度：從20ns/圖素到10ms/圖素，可階級(jí)式或連續(xù)式的調(diào)整。 
III.聚焦窗口：可連續(xù)式調(diào)整聚焦窗口的大小和位置。 
IV.動(dòng)態(tài)聚焦,點(diǎn)&線掃描 
V. 圖像處理(Image processing)：提供銳化(Sharpening)﹐自動(dòng)對(duì)比調(diào)整(Auto Contrast)﹐去噪聲 
化(Noise Reduction)等15種圖像處理功能。 
VI.量測(cè)功能：提供量測(cè)任意兩點(diǎn)的距離，量測(cè)任意夾角，不規(guī)則形狀的面積和周長(zhǎng)，劃指示箭頭，寫(xiě)說(shuō)明文字等13種圖像量測(cè)的功能 
VII.圖像存盤(pán)： 
1).瀏覽已儲(chǔ)存圖像的相本。 
2).找尋已儲(chǔ)存圖像的數(shù)據(jù)庫(kù)系統(tǒng)。 
3).報(bào)告產(chǎn)生及從程序中直接打印。 
4).實(shí)時(shí)或儲(chǔ)存的圖像均可處理。 
13.卓越的分析品質(zhì); 
1)選擇目標(biāo)區(qū)域：以灰階及彩色為起始點(diǎn)-針對(duì)選擇的區(qū)域著色及量測(cè)。 
2)3D掃描：可通過(guò)各探頭的配合，顯示真實(shí)的三維圖象。 
3)硬度分析：以Vickers式硬度或Brinell式硬度標(biāo)準(zhǔn)來(lái)測(cè)量分析樣品。 
4)多圖片校正：可以校正其它電鏡拍攝的照片的放大倍數(shù)。 
5)打印放大倍數(shù)：調(diào)整顯示屏以及打印輸出時(shí)放大倍數(shù)差異。 
6)關(guān)機(jī)時(shí)間設(shè)定：可以設(shè)定第一次自動(dòng)關(guān)機(jī)時(shí)間。 
7)公差 
可選配軟件 
8)形態(tài)學(xué)：該軟件可對(duì)樣品圖片進(jìn)行自動(dòng)分析，測(cè)量和分類(lèi)。其圖片來(lái)源可以是顯微鏡，數(shù)碼相機(jī)等。 
9)顆粒度分析：可以對(duì)多區(qū)域內(nèi)的樣品進(jìn)行自動(dòng)測(cè)量，分析和分類(lèi)（不過(guò)分析樣品必須在掃描窗口內(nèi)）。該軟件結(jié)合形態(tài)學(xué)軟件使用，功能更加完善。 
10)自動(dòng)連續(xù)截圖 
11)樣品觀測(cè) 
12)鼠標(biāo)連接：安裝該軟件后，可以用SEM的鼠標(biāo)控制其他連接的設(shè)備的鼠標(biāo)進(jìn)行操作。

主要特點(diǎn)：
國(guó)內(nèi)首家使用中文操作界面的電鏡廠商 
1.電磁式電子槍自動(dòng)對(duì)中; 
2.可以提供五種觀察影像模式:分辨率模式;景深模式;視野模式;大視野模式,Channeling模式，可非常方便的尋找樣品位置; 
3.紅外線樣品室內(nèi)攝像裝置,可以在測(cè)量同時(shí)觀測(cè)樣品; 
4.真空系統(tǒng)采用一臺(tái)機(jī)械泵和一臺(tái)分子泵,抽真空速度快,在更換樣品后,三分鐘內(nèi)就可達(dá)到待測(cè)狀態(tài);并且不需要使用冷卻水冷卻. 
5.采用主動(dòng)式電磁減震方式，大大減少對(duì)安裝環(huán)境的要求 
6.先進(jìn)的軟件系統(tǒng),在數(shù)據(jù)儲(chǔ)存數(shù)據(jù)記錄數(shù)據(jù)打印等方面具有多種創(chuàng)新功能. 
7.12個(gè)以上外擴(kuò)展接口，可安裝更多各類(lèi)附件
8.可對(duì)SEM進(jìn)行遠(yuǎn)程控制 
9.最適合體積和重量大，不方便切割的樣品觀察和研究。