TESCAN 掃描透射電子顯微鏡

TESCAN TENSOR 4D 掃描透射電子顯微鏡

高度集成、旋進(jìn)輔助的分析型 4D- STEM

TESCAN TENSOR 是一款中等加速電壓、近超高真空的集成 4D-STEM， 用于對(duì)功能材料、薄膜、天然和合成顆粒

的納米級(jí)形態(tài)、化學(xué)和結(jié)構(gòu)特性進(jìn)行多模態(tài)表征，具有良好的 4D-STEM 性能和良好的普遍適用性。

分析型 4D-STEM

更好的獲取電子束與樣品相互作用的全部信息

4D-STEM 是對(duì)材料特性（如形態(tài)、化學(xué)成分和結(jié)構(gòu)）進(jìn)行真正的納米級(jí)多模態(tài)表征的理想顯微鏡方法。在 STEM 數(shù)據(jù)

集中的每個(gè)像素上，TESCAN TENSOR 都能快速、準(zhǔn)確地同步獲取衍射花樣和 EDS 能譜圖。衍射和能譜數(shù)據(jù)共同揭示了

電子束與樣品相互作用的全部信息，從而得出各種材料屬性。

近實(shí)時(shí)分析和處理 4D-STEM 數(shù)據(jù)

TESCAN TENSOR 具有真正獨(dú)特的功能是“Explore”，它是 TENSOR 的集成平臺(tái)，用于實(shí)時(shí)處理和分析大規(guī)模掃描電子

衍射數(shù)據(jù)集。

Explore 可以協(xié)助材料科學(xué)家、半導(dǎo)體科研人員和失效分析工程師以及晶體學(xué)家實(shí)現(xiàn) 4D-STEM 測量功能，無需 STEM 光學(xué)

或 4D-STEM 數(shù)據(jù)分析和后處理方面的專業(yè)知識(shí)。用戶可以根據(jù)自己的喜好調(diào)整每次 STEM 或 4D-STEM 測量的預(yù)設(shè)優(yōu)化

光學(xué)屬性。

測量功能:

TESCAN TENSOR 為材料科學(xué)家、半導(dǎo)體研發(fā)和失效分析人員以及晶體學(xué)家提供了眾多已預(yù)設(shè)的STEM、4D- STEM和斷層

掃描測量的參數(shù):

STEM BF, ADF 和 HAADF 成像

STEM 晶格像

成分 (能譜分析和元素面掃)

取向 / 物相分布成像

應(yīng)力分布圖

虛擬 STEM

STEM 和 EDS 重構(gòu)

衍射重構(gòu)  

性能:

TESCAN 從零開始開發(fā)了新的 TENSOR，優(yōu)化了STEM 掃描的同步功能：

混合像素的直接電子衍射相機(jī)衍射成像

2個(gè)無窗EDS探測器(2個(gè)大立體角)進(jìn)行快速地能譜采集

快速，旋進(jìn)電子束頻率高達(dá) 72kHz

 一體化的靜電束閘

近實(shí)時(shí)4D-STEM數(shù)據(jù)分析、處理和可視化軟件(TESCAN Explore)

都集成在模塊化、中高壓、近超高真空 (樣品區(qū)域真空達(dá)到10-6 Pa) 的肖特基場發(fā)射電子槍上

可用性:

TESCAN TENSOR 是一臺(tái)可以像掃描電鏡一樣易于使用的掃透電鏡（STEM）。它可以讓使用者把時(shí)間花在樣品分析上，

而不是浪費(fèi)于參數(shù)調(diào)整。新手用戶只需要最少時(shí)間的訓(xùn)練，就能很快獲得結(jié)果。有經(jīng)驗(yàn)的用戶可以使用選配的 API 開發(fā)

適合自己的測量功能，并通過 HyperSpy、LiberTEM 或 Py4DSTEM 等開放平臺(tái)的解決方案導(dǎo)出 TENSOR 4D- STEM 

的數(shù)據(jù)集進(jìn)行離線處理。