產(chǎn)品介紹

P-III的表面粒子檢測器系列通過以下技術(shù)實現(xiàn)電子半導(dǎo)體行業(yè)表面污染的量化監(jiān)測和控制：

核心技術(shù)原理

界面顆粒再懸浮技術(shù)?：采用界面技術(shù)，通過物理或氣流方式將附著在關(guān)鍵

表面的顆粒重新懸浮，便于后續(xù)檢測。

高精度光學(xué)檢測：基于激光光學(xué)傳感器和光散射原理，實時捕獲懸浮粒子的散

射光信號，實現(xiàn)單個粒子尺寸的精確分析。

關(guān)鍵性能指標(biāo)

分辨率達(dá)0.1微米，支持納米級顆粒檢測；

配備靜態(tài)采樣模式，提升測量精度和穩(wěn)定性；符合ISO-14644-9表面粒子控制標(biāo)準(zhǔn)，

滿足半導(dǎo)體制造中對潔凈度的嚴(yán)苛要求

行業(yè)應(yīng)用優(yōu)勢

減少50%以上的自凈時間及顆粒數(shù)，縮短PM周期，提升制造效率；

通過實時監(jiān)測表面污染，降低因顆粒導(dǎo)致的良率損失和可靠性風(fēng)險；

適用于晶圓、光學(xué)元件、精密電路板等對潔凈度敏感的生產(chǎn)環(huán)節(jié)。

系統(tǒng)集成設(shè)計

支持USB數(shù)據(jù)導(dǎo)出和軟件升級，便于與工廠智能管理系統(tǒng)對接；

采用雙電池?zé)岵灏卧O(shè)計，適應(yīng)連續(xù)生產(chǎn)環(huán)境的需求。

該系列設(shè)備通過量化表面污染數(shù)據(jù)，為半導(dǎo)體制造中的過程控制提供標(biāo)準(zhǔn)化依據(jù)，從而優(yōu)化生產(chǎn)良率和產(chǎn)品可靠性。

傳感器：第七代雙激光窄光檢測器，壽命>200000次

產(chǎn)品參數(shù)

測量粒徑:

A 0.3um、2.5um、10um;                            B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0）um、10um;

C0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um;         D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um;

E0,5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um;     F 0.1μm,0.2μm,0.3μm,0.5μm,1.0μm,5.0μm;

1、粒徑分布誤差：≤±30%

2、濃度示值誤差：≤±30%

3、重復(fù)相對偏差：≤±10%FS

4、重疊誤差：≤5%

5、氣體檢測：可測氣體濃度（可選配）

6、溫度范圍：-40 ～ 120℃

7、檢定標(biāo)準(zhǔn)：ISO14644-1或 JJF1190

8、氣泵流速：2.83L/min，28.3L/min（可選）；

9、采樣時間：3、6、9、12、15、30、60秒（可選）；

10、檢測模式：數(shù)量模式；質(zhì)量模式； 凈效模式；

11、檢測方式：定時檢測、循環(huán)檢測可設(shè)置     

12、報警方式：自定義數(shù)量報警值、質(zhì)量報警值

13、限值報警：RS485信號報警或外接聲光報警器

14、法 規(guī) 性：權(quán)限管控、審計追蹤、電子記錄等

15、合 規(guī) 性：符合ISO 21501-4，JIS B9921

16、通訊接口：RS232、R485、LAN-USB

17、存儲模式：實時、定時存儲可設(shè)置；無限制

18、打印模式：可選配微型打印機(jī)打印數(shù)據(jù)

19、工作條件：5 ～ 45℃、≤90%RH，無冷凝

產(chǎn)品特點

智能化設(shè)計與操作體驗

7英寸高分辨率觸控屏：支持實時數(shù)據(jù)可視化與交互操作，簡化流程。

雙電池?zé)岵灏蜗到y(tǒng)?：支持連續(xù)生產(chǎn)場景下的不間斷作業(yè)，電池更換無需停機(jī)。

USB數(shù)據(jù)接口與軟件升級?：便捷導(dǎo)出檢測報告，并可通過固件更新持續(xù)優(yōu)化性能。

提升制造效率

減少50%自凈時間?：通過量化表面污染數(shù)據(jù)，縮短設(shè)備維護(hù)周期（PM周期），提升產(chǎn)線吞吐量。

延長MTBC（平均無故障周期）：結(jié)合顆�？刂撇呗�，關(guān)鍵設(shè)備可靠性提升4倍以上。

覆蓋高潔凈場景

半導(dǎo)體制造：晶圓表面、機(jī)臺內(nèi)腔等關(guān)鍵區(qū)域的潔凈度驗證。

精密光學(xué)與電子：液晶面板、光學(xué)鏡片組件、醫(yī)療器械的表面污染控制。

符合國際標(biāo)準(zhǔn)

產(chǎn)品嚴(yán)格遵循ISO-14644-9表面粒子控制規(guī)范，為全球半導(dǎo)體廠商提供標(biāo)準(zhǔn)化檢測工具。

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