微光顯微鏡EMMI_紅外熱發(fā)射顯微鏡_陜西天士立科技榮譽出品

鎖相紅外熱像儀/電性失效分析029-。貨期快，現(xiàn)貨試測，歡迎來電

陜西天士立科技的微光顯微鏡EMMI、熱發(fā)射顯微鏡系統(tǒng)(Thermal Emission microscopy system)，是半導(dǎo)體失效分析和缺陷定位的常用的三大手段之一（EMMI,THERMAL,OBIRCH）,是通過接收故障點產(chǎn)生的熱輻射異常來定位故障點(熱點/Hot Spot)位置。

陜西天士立科技的微光顯微鏡EMMI、將鎖相技術(shù)和熱成像技術(shù)有機(jī)結(jié)合，獲得超過1mk以上的溫度分辨率，對uA級漏電流或微短路等導(dǎo)致的缺陷，提供了非常好的解決方案。

陜西天士立科技的微光顯微鏡EMMI、實時瞬態(tài)鎖相紅外熱分析系統(tǒng)（RTTLIT)我公司的實時瞬態(tài)的鎖相分析儀可選雙波段，能同時具備EMMI（微光顯微鏡）和Thermal EMMI（熱紅外鎖相顯微鏡）雙功能，具備極高的靈敏度和性價比。專注于芯片、電子電路、電路板、電子元器件等各種產(chǎn)品的失效分析，可用于分析短路失效、漏電失效、CAF失效、離子遷移等等。

1、近紅外相機(jī)

探測器：InGaAs（銦鎵砷）

像素大�。�640*512

像元間距：20um

制冷溫度：10℃

曝光時間：16.7ms~33ms

2、金相顯微鏡

圖像：正像

瞳距：調(diào)節(jié)范圍55-75mm

視場直徑：24mm

調(diào)焦機(jī)構(gòu)：粗微調(diào)手輪，調(diào)焦行程：50mm；粗動手輪 4mm/轉(zhuǎn)；微動手輪

0.1mm/轉(zhuǎn)

物鏡轉(zhuǎn)換器：四孔物鏡轉(zhuǎn)換器，中心可調(diào)，可拆卸

3、近紅外物鏡

NIR5X：，數(shù)值孔徑 0.14，工作距離 37.5mm，景深 14um

NIR20X：數(shù)值孔徑 0.40，工作距離 20mm，景深 1.7um

NIR50X：數(shù)值孔徑 0.42，工作距離 17mm，景深 1.6um

4、探針（標(biāo)配 4 組）

X-Y-Z 行程: 12mm x 12mm x 12mm

絲杠螺紋嚙合&微分頭驅(qū)動（自鎖止功能，彈簧抑制跳動）

移動精度0.35um

支持開爾文針臂安裝、射頻支臂安裝

針尖直徑：5um

針桿類型：同軸BNC（最大耐受電壓 500V）

5、氣浮臺

臺面尺寸：1200 mm × 900 mm × 200 mm

臺面高度：800mm

隔振方式：氣浮隔振

6、源表

最大電壓200V

最大電流1A接口類型：香蕉頭

7、電腦

12 代 CPU：Intel i7-12700

內(nèi)存：32G

硬盤：1T 機(jī)械+240G 固態(tài)

操作系統(tǒng)：WIN10

電源：300W

顯卡：英偉達(dá)T1000

顯示器：27 寸 4K 顯示器

配置鼠標(biāo)、鍵盤

8、軟件功能

四象限畫面布

鎖相EMMI 計算開始、中止功能

圈選功能（范圍內(nèi)最大值、最小值、平均值、標(biāo)準(zhǔn)差）

數(shù)據(jù)、圖像保存、導(dǎo)入/導(dǎo)出功能

歷史暫存功能

直方圖均衡化

多階濾波降噪算法（中值、平滑、高斯）

IV 測量工具

網(wǎng)格計算功能

Overlay 疊圖功能

畫面距離量測功能

正面測量/背面測量畫面切換功能

3D 數(shù)據(jù)顯示功能

9、安裝要求

電源：230V±10%/50Hz，功率 2300W

真空：>50kPa

安裝空間：空間不小于2 米*2 米

配置桌子

微光顯微鏡(Emission Microscope, EMMI)是一種相當(dāng)有用且效率極高的分析工具。主要偵測IC內(nèi)部所放出光子。在IC元件中，EHP(Electron Hole Pairs) Recombination會放出光子(Photon)。舉例說明:在P-N 結(jié)加偏壓，此時N阱的電子很容易擴(kuò)散到P阱，而P的空穴也容易擴(kuò)散至N然后與P端的空穴(或N端的電子)做 EHP Recombination。

微光顯微鏡EMMI_紅外熱發(fā)射顯微鏡_陜西天士立科技榮譽出品、鎖相紅外熱像儀/電性失效分析029-。貨期快，現(xiàn)貨試測，歡迎來電。