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產(chǎn)品屬性本產(chǎn)品采購(gòu)屬于商業(yè)貿(mào)易行為

光譜橢偏儀

  • 市場(chǎng)價(jià)格： 電議
  • 產(chǎn)品型號(hào)： UNECS系列
  • 更新時(shí)間： 2025/6/13 9:35:22
  • 生產(chǎn)地： 日本
  • 訪問次數(shù)： 520次

    • 公司名稱： 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

企業(yè)檔案

深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

第 4年 證營(yíng)業(yè)執(zhí)照已上傳

企業(yè)類型：經(jīng)銷商

公司地址：廣東深圳市

主營(yíng)產(chǎn)品：冷熱臺(tái)，快速退火爐，光刻機(jī)，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)，熱蒸發(fā)，脈沖激光沉積，化學(xué)氣相沉積

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
UNECS系列是可以高速、高精度測(cè)量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。采用的測(cè)量方式，實(shí)現(xiàn)了高速測(cè)量和機(jī)體的小型化。
我們的產(chǎn)品陣容包括便攜式，自動(dòng)式和對(duì)應(yīng)真空環(huán)境的設(shè)備內(nèi)置式類型。

詳細(xì)內(nèi)容

詳細(xì)內(nèi)容

公司簡(jiǎn)介

1. 產(chǎn)品概述：

UNECS系列是可以高速、高精度測(cè)量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。采用的測(cè)量方式，實(shí)現(xiàn)了高速測(cè)量和機(jī)體的小型化。

我們的產(chǎn)品陣容包括便攜式，自動(dòng)式和對(duì)應(yīng)真空環(huán)境的設(shè)備內(nèi)置式類型。

2. 特點(diǎn)

高速測(cè)定
快照方法可實(shí)現(xiàn)高達(dá)20 ms的高速測(cè)量。

適用于可見光譜：
波長(zhǎng)范圍可選標(biāo)準(zhǔn)類型（530nm至750nm）和可見光譜類型（380nm至760nm）。

緊湊型傳感器單元：
光發(fā)射和接收的傳感器僅由沒有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的光學(xué)部件組成，因此非常輕且緊湊，并且不需要定期維護(hù)。

豐富的產(chǎn)品陣容：
產(chǎn)品陣容應(yīng)用廣泛，包括如便攜類型，手動(dòng)/自動(dòng)平臺(tái)類型，大型基板類型，以及支持大氣/真空環(huán)境的內(nèi)置類型。

3. 用途

透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蝕劑，ITO等）的膜厚，折射率，消光系數(shù)的測(cè)量

 

波長(zhǎng)范圍 530～750nm、380～760nm（選擇）
點(diǎn)徑 Φ1mm、Φ0.3mm（選擇）
入射角度 70o固定
膜厚再現(xiàn)性 1σ = 0.1ｎｍ
膜厚范圍 1nm～2μｍ
測(cè)量時(shí)間 受光：20ms ～ 3000ms　演算：300ms
平臺(tái) Φ150mm手動(dòng)式R-θ平臺(tái)
控制PC 筆記本類型（帶操作/分析軟件）
機(jī)器構(gòu)成 測(cè)量本體（手動(dòng)平臺(tái)、控制器BOX付き）
光源單元、操作PC（筆記本型）、使用說明書（CD）

關(guān)鍵詞：橢偏儀  愛發(fā)科  

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