​SEMPREP SMART 離子研磨儀

SEMPREP SMART離子研磨儀配備了高能量和可選的低能量氬離子槍。這款設(shè)備是用于掃描電子顯微鏡(SEM)和電子背散射衍射(EBSD)樣品的終加工和清潔的理想選擇。離子加工可以改進(jìn)和清潔機(jī)械拋光的 SEM 樣品并為 EBSD 分析制備無損表面。該設(shè)備還適用于快速截面加工。為您制備高精度和高質(zhì)量的樣品，例如在半導(dǎo)體測試或鋰離子電池隔膜的截面檢查中均能實(shí)現(xiàn)出色的效果。

 主要特點(diǎn)：

• 先進(jìn)的離子槍設(shè)計(jì)和自動(dòng)化功能

• 新型用戶友好操作軟件:為用戶提供智能輔助

• 更精確的針閥:允許對(duì)氣流進(jìn)行精細(xì)調(diào)整

• 高精度可調(diào)性:用于精細(xì)調(diào)節(jié)操作
• 更長壽命高真空傳感器

產(chǎn)品功能：

• 可選低能槍（LEG）

• 可選的新型 LN2 冷卻系統(tǒng)

• 可選真空轉(zhuǎn)移裝置 (VTU)，用于在真空條件下取出樣品

• 獨(dú)立的對(duì)位樣品臺(tái)：在進(jìn)行 90° 加工時(shí)用于精確樣品定位

技術(shù)參數(shù)：

離子槍：

超高能量離子槍，高可達(dá) 16 keV

樣品尺寸

截面樣品臺(tái)（可選 30°、90°樣品臺(tái)）：

 • 30°樣品臺(tái)：大尺寸16.4mm (長) x 16mm (寬) x 3.1mm (厚) 

• 90°樣品臺(tái)：大尺寸18.6mm (長) x 16mm (寬) x 6mm (厚)

用于表面加工（EBSD）的平面樣品臺(tái)，配有三種不同的頭部類型

• 平頭型：大直徑 50mm x 4mm

• 標(biāo)準(zhǔn)型：大直徑 32mm x 15mm

• 空心型：大直徑 25mm x 23mm

樣品臺(tái)移動(dòng)

• 樣品傾斜角度：0° 至 30°，每 0.1° 連續(xù)可調(diào)

• 樣品旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)：360 可變速樣品旋轉(zhuǎn)，角度速度可調(diào)

• 樣品加工擺角（搖擺）：±10° 至 ±120°，每 5° 連續(xù)可調(diào)

 樣品冷卻（可選）

液氮冷卻或 Peltier 冷卻

真空系統(tǒng) 

無油隔膜泵和分子泵  

氣體供應(yīng)系統(tǒng) 

純度為 99.999% 的氬氣工作氣體，高精度針閥流量控制 

分子泵

HiPace 80 Neo. 

成像系統(tǒng) 

500萬像素CMOS相機(jī)，具有圖像內(nèi)的測量功能 

計(jì)算機(jī)控制 

易于使用的圖形界面，自動(dòng)化離子槍操作和樣品臺(tái) 位置校準(zhǔn)

使用氬離子束進(jìn)行加工

飛納電鏡——復(fù)納科學(xué)儀器（上海）有限公司，2012年創(chuàng)立于上海，為高校、企業(yè)和研究所提供臺(tái)式掃描電子顯微鏡，產(chǎn)品包含：臺(tái)式場發(fā)射掃描電鏡、CeB6 燈絲系列臺(tái)式掃描電鏡、Particle X 系列全自動(dòng)掃描電鏡以及掃描電鏡樣品制備設(shè)備——離子研磨儀等。

飛納電鏡還提供與臺(tái)式掃描電鏡相關(guān)的技術(shù)支持和測試服務(wù)。我們一直注顯微技術(shù)，致力于實(shí)現(xiàn)掃描電鏡平民化。飛納電鏡為用戶提供從掃描電鏡基礎(chǔ)理論到 Level 5 應(yīng)用工程師的進(jìn)階培訓(xùn)，在上海、北京、廣州、成都設(shè)立了測試中心和售后服務(wù)中心，目飛納電鏡在中國已經(jīng)擁有超過 2000 名用戶。

2017 年起，復(fù)納與荷蘭 Sioux 集團(tuán)（ASML 光刻機(jī)研發(fā)供應(yīng)商）合作開發(fā)基于分析儀器的數(shù)字化應(yīng)用解決方案；2018 年，復(fù)納引入并組建以 VSParticle 納米粒子發(fā)生器、ForgeNano 原子層沉積系統(tǒng)（美國）為主要產(chǎn)品的納米部門。復(fù)納又陸續(xù)引進(jìn)海外優(yōu)質(zhì)高科技設(shè)備：Technoorg Linda 離子研磨儀、DENSsolutions 透射電鏡原位樣品桿、NEOSCAN 臺(tái)式顯微 CT 到中國，旨在提高分析結(jié)果準(zhǔn)確性，提升儀器使用效率，節(jié)省人力成本。