Technoorg Linda 的低能氬離子槍（GIB） 適用于表面減薄、其他表面處理后的后處理、清潔以及去除無定形和氧 化物表面層。 當(dāng)?shù)湍軞咫x子槍集成到掃描電鏡中時(shí) ，其作用尤為明顯。有了集成離子槍 ，就可以在研究之對樣品 進(jìn)行精修。 實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量樣品的另一個(gè)重要應(yīng)用是在雙束 SEM / FIB 系統(tǒng)中進(jìn)行 FIB 樣品制備后，對 TEM 樣品進(jìn)行zui終拋光和溫和的表面清潔。

​GIB 精修離子束系統(tǒng)

用于掃描電鏡 / 雙束電鏡的氬離子束方案
 

Technoorg  Linda  的低能氬離子槍（GIB） 適用于表面減薄、其他表面處理后的后處理、清潔以及去除無定形和氧 化物表面層。 當(dāng)?shù)湍軞咫x子槍集成到掃描電鏡中時(shí) ，其作用尤為明顯。有了集成離子槍 ，就可以在研究之對樣品  進(jìn)行精修。 實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量樣品的另一個(gè)重要應(yīng)用是在雙束 SEM / FIB 系統(tǒng)中進(jìn)行 FIB 樣品制備后，對 TEM 樣品進(jìn)行 終拋光和溫和的表面清潔。

儀器控制單元

可與掃描電鏡集成

帶波紋管的傳輸系統(tǒng)可通過連接管安裝到掃描電鏡上。連 接管輸出法蘭的尺寸與相應(yīng)的 SEM 端口尺寸相匹配。通  過線性傳輸系統(tǒng)提供的離子源流動(dòng)性，可實(shí)現(xiàn)理想的工作 距離（15-30 mm）。

 

 

低能量氬離子槍

低能量離子槍的直徑和長度均為  50mm。氬離子束的能 量范圍：100eV - 2kV。 2kV 時(shí)的大束流為 70µA。離 子束為寬束，半大全寬（FWHM）為 2mm。

半管支架

低能量離子槍安裝在半管支架中。

 

 

 

 

關(guān)鍵詞：精修離子束系統(tǒng)  

飛納電鏡——復(fù)納科學(xué)儀器（上海）有限公司，2012年創(chuàng)立于上海，為高校、企業(yè)和研究所提供臺(tái)式掃描電子顯微鏡，產(chǎn)品包含：臺(tái)式場發(fā)射掃描電鏡、CeB6 燈絲系列臺(tái)式掃描電鏡、Particle X 系列全自動(dòng)掃描電鏡以及掃描電鏡樣品制備設(shè)備——離子研磨儀等。

飛納電鏡還提供與臺(tái)式掃描電鏡相關(guān)的技術(shù)支持和測試服務(wù)。我們一直注顯微技術(shù)，致力于實(shí)現(xiàn)掃描電鏡平民化。飛納電鏡為用戶提供從掃描電鏡基礎(chǔ)理論到 Level 5 應(yīng)用工程師的進(jìn)階培訓(xùn)，在上海、北京、廣州、成都設(shè)立了測試中心和售后服務(wù)中心，目飛納電鏡在中國已經(jīng)擁有超過 2000 名用戶。

2017 年起，復(fù)納與荷蘭 Sioux 集團(tuán)（ASML 光刻機(jī)研發(fā)供應(yīng)商）合作開發(fā)基于分析儀器的數(shù)字化應(yīng)用解決方案；2018 年，復(fù)納引入并組建以 VSParticle 納米粒子發(fā)生器、ForgeNano 原子層沉積系統(tǒng)（美國）為主要產(chǎn)品的納米部門。復(fù)納又陸續(xù)引進(jìn)海外優(yōu)質(zhì)高科技設(shè)備：Technoorg Linda 離子研磨儀、DENSsolutions 透射電鏡原位樣品桿、NEOSCAN 臺(tái)式顯微 CT 到中國，旨在提高分析結(jié)果準(zhǔn)確性，提升儀器使用效率，節(jié)省人力成本。