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無掩膜直寫光刻機(jī)

企業(yè)檔案

深圳市科時(shí)達(dá)電子科技有限公司

4 營業(yè)執(zhí)照已上傳

企業(yè)類型:經(jīng)銷商

公司地址:深圳市光明區(qū)公明街道上村社區(qū)水貝北路大新華達(dá)工業(yè)園3號(hào)廠房203

主營產(chǎn)品:電子材料、半導(dǎo)體儀器設(shè)備、醫(yī)療設(shè)備三大產(chǎn)品領(lǐng)域的,是一家集研發(fā)、制造、銷售為一體的企業(yè)。我們的主營業(yè)務(wù)涉及了研發(fā)銷售及加工電子材料及周邊產(chǎn)品;電子光電產(chǎn)品設(shè)備研發(fā)組裝及銷售,半導(dǎo)體儀器設(shè)備銷售;國內(nèi)貿(mào)易、貨物及技術(shù)進(jìn)出口;醫(yī)療器械研發(fā)及銷售;醫(yī)用耗材及醫(yī)療用品的銷售等。

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

小型臺(tái)式無掩膜光刻機(jī)- MA1200



小型臺(tái)式無掩膜光刻機(jī)- MicroWriter ML3是英國公司為實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)開發(fā),為微流控、SAW、半導(dǎo)體、自旋電子學(xué)等研究域提供方便高效的微加

詳細(xì)內(nèi)容

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公司簡(jiǎn)介

        ML3-1.jpg         
 

                                                      

 產(chǎn)品特點(diǎn) 

 

Focus Lock自動(dòng)對(duì)焦功能
Focus Lock技術(shù)是利用自動(dòng)對(duì)焦功能對(duì)樣品表面高度進(jìn)行探測(cè),并通過Z向調(diào)整和補(bǔ)償,以保證曝光分辨率。

光學(xué)輪廓儀
MicroWriter ML3 配備光學(xué)輪廓探測(cè)工具,用于勻膠后沉積層,蝕刻層,MEMS等道結(jié)構(gòu)的形貌探測(cè)與套刻。Z向高精度100 nm,方便快捷。
 

 

 

 

標(biāo)記物自動(dòng)識(shí)別
點(diǎn)擊“Bulls-Eye”按鈕,系統(tǒng)自動(dòng)在顯微鏡圖像中識(shí)別光刻標(biāo)記。標(biāo)記物被識(shí)別后,將自動(dòng)將其移動(dòng)到顯微鏡中心位置。

直寫預(yù)檢查
軟件可以實(shí)時(shí)顯微觀測(cè)基體表面,并顯示預(yù)直寫圖形位置。通過實(shí)時(shí)調(diào)整位置、角度,直到設(shè)計(jì)圖形按要求與已有結(jié)構(gòu)重合,保證直寫準(zhǔn)確。

 

 

簡(jiǎn)單的直寫軟件
MicroWriter 由一個(gè)簡(jiǎn)單直觀的Windows界面軟件控制。工具欄會(huì)引導(dǎo)使用者進(jìn)行簡(jiǎn)單的布設(shè)計(jì)、基片對(duì)準(zhǔn)和曝光的基本操作。該軟件在Windows10系統(tǒng)下運(yùn)行。

Clewin 掩膜圖形設(shè)計(jì)軟件
●  可以讀取多種圖形設(shè)計(jì)文件(DXF, CIF, GDSII, 等)
●  可以直接讀取TIFF, BMP 等圖片格式
●  書寫范圍只由基片尺寸決定

 

 


 


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