美國PIE Scientific LLC公司出品的SEMI-KLEEN 等離子清洗儀, 采用低壓清洗技術(shù),可清洗各種類型電子或者離子顯微鏡,深紫外光刻機(jī),電子光刻系統(tǒng)等真空儀器。本儀器由一個LCD觸摸屏控制器和一個遠(yuǎn)程射頻(RF)等離子源組成,遠(yuǎn)程等離子源通過一個KF40真空法蘭連接到待清洗真空室,有轉(zhuǎn)接法蘭提供。主要用于清洗各種掃描電鏡(SEM),透射電鏡(TEM),聚焦離子系統(tǒng)(FIB),離子顯微鏡(HIM)等真空系統(tǒng)中碳?xì)浼捌渌廴。同時清洗真空腔體和樣品。(詳情請咨詢PIE中國代理南京覃思科技有限公司)
一. 特有功能
1. 優(yōu)越的等離子技術(shù),可以在小于0.1毫托的氣壓下點(diǎn)火并且保持穩(wěn)定的等離子體。非常低工作氣壓比其他同類產(chǎn)品低10到100倍。低氣壓清洗速度非?,非常均勻,對電子槍和分子泵非常安全;
2. 即時等離子起輝技術(shù)。不用像在其他同類產(chǎn)品上那樣擔(dān)心等離子是不是成功起輝;
3. 帶氣壓計的自動氣體流量控制;
4. 實時測量等離子強(qiáng)度,用戶可以根據(jù)這個實時反饋來優(yōu)化清洗配方;
5. 自動射頻匹配實時保證非常優(yōu)化射頻耦合,即使用戶調(diào)節(jié)清洗配方;
6. 有保護(hù)的雙層顆粒過濾器設(shè)計保證我們的產(chǎn)品滿足Intel,臺積電,三星等半導(dǎo)體用戶的嚴(yán)格顆粒污染要求;
7. 帶LCD觸摸屏的直觀操作界面;
8. 微電腦控制器帶可修改的智能清洗計劃,設(shè)好就自動清洗您的系統(tǒng);
9. 支持清洗配方,一鍵開始,自動射頻匹配,自動控制氣體流量;
10. 微電腦控制器可記錄所有信息狀態(tài),便于系統(tǒng)維護(hù)。
二. 技術(shù)指標(biāo)
1. 等離子源真空接口:NW/KF40 法蘭; 提供轉(zhuǎn)接法蘭;
2. 標(biāo)配等離子強(qiáng)度傳感器;
3. 等離子源非常低點(diǎn)火起輝氣壓:<0.1毫托;
4. 等離子源非常高工作氣壓:>1.0 托;
5. 漏氣率:<0.005sccm;
6. 射頻輸出:0~100瓦,連續(xù)可調(diào)節(jié);
7. 具有射頻自動匹配功能
8. 電源和功率:110V/220V, 50/60 Hz, 200 瓦
關(guān)鍵詞:
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南京覃思科技有限公司成立于2004年,主要從事粒子超快成像、電子顯微鏡/光學(xué)顯微鏡/X射線儀相關(guān)附件、實驗室設(shè)備和耗材的銷售和技術(shù)服務(wù)。我們擁有一支經(jīng)驗豐富的團(tuán)隊,骨干員工的工作經(jīng)驗均超過15年,我們致力于為尊敬的客戶提供卓越的產(chǎn)品質(zhì)量和售后服務(wù)。公司總部位于江蘇省南京市,為整個中國市場提供全面的技術(shù)支持和服務(wù),并注于南方地區(qū)的銷售工作。在北京設(shè)有分公司,負(fù)責(zé)北方地區(qū)的銷售和服務(wù)工作。經(jīng)過近二十年的努力,我們的客戶遍及全國高等院校、科研院所、政府機(jī)構(gòu)、企業(yè)單位等。
我們與國際知名品牌建立了牢固的分銷關(guān)系,使我們能夠提供多樣化的產(chǎn)品組合。我們在中國市場合作的品牌包括:ASI(荷蘭,X射線光子和粒子研究用的混合像素時間戳高速相機(jī));Safematic(瑞士,電鏡樣品鍍膜設(shè)備);Deben(英國,冷臺、拉伸臺、SEM探測器等顯微應(yīng)用配件);Tousimis(美國,臨界點(diǎn)干燥儀);JC Nabity(美國,NPGS);Dragonfly(加拿大,三維圖像處理分析軟件); PIE(美國,臺式和遠(yuǎn)程等離子清洗機(jī))、Micro to Nano(荷蘭,顯微學(xué)耗材)、Labspinner(韓國,細(xì)胞外囊泡分離提純系統(tǒng)及外泌體提取試劑盒)、ATTO(日本,電泳凝膠成像及生物化學(xué)發(fā)光檢測成像)等。
我們不僅考慮誠信銷售和出色服務(wù),還倡導(dǎo)發(fā)展、真實、友善和創(chuàng)新的企業(yè)文化。我們不斷努力提供先進(jìn)的產(chǎn)品和服務(wù),以滿足客戶不斷變化的需求。為了體現(xiàn)對卓越的承諾,我們積參與學(xué)術(shù)會議、研討會和各種展覽活動。在遵循“為客戶提供卓越的質(zhì)量和服務(wù)”的指導(dǎo)原則下,我們建立了完善的客戶追蹤、文件管理和客戶回訪系統(tǒng),取得了良好的經(jīng)濟(jì)和社會效益。
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