昊量光電全新推出的半導(dǎo)體參數(shù)分析儀RTM2-霍爾源測系統(tǒng)。利用半導(dǎo)體參數(shù)分析儀RTM2的集成開關(guān)矩陣實(shí)現(xiàn)無限的精度和穩(wěn)定性用于片狀、霍爾和電阻張量的測量。

半導(dǎo)體參數(shù)分析儀RTM2主要功能：

1. 半導(dǎo)體參數(shù)分析儀RTM2專為自動(dòng)精密測量電阻和相關(guān)量而設(shè)計(jì)。半導(dǎo)體參數(shù)分析儀RTM2將直流和交流測量與獨(dú)特的集成開關(guān)矩陣結(jié)合在一起。

2. 半導(dǎo)體參數(shù)分析儀RTM2具有鎖定放大器的低噪、具有高端萬用表 8 位以上的動(dòng)態(tài)范圍和無與倫比的穩(wěn)定性，可研究 ppb 級效應(yīng)。nΩ研究變得前所未有的簡單。

3. 創(chuàng)新的連接器設(shè)計(jì)允許傳統(tǒng)的 BNC 操作與被動(dòng)屏蔽或主動(dòng)防護(hù)屏蔽。這將直流阻抗上限擴(kuò)展到了 Tera-Ohm 范圍，并將交流帶寬提高了約兩個(gè)數(shù)量級，以測試MΩ器件。

4. 半導(dǎo)體參數(shù)分析儀RTM2只需一臺設(shè)備就能自動(dòng)記錄完整的電阻張量（Rx、Ry、RH），即使是在無圖案的薄膜上。

5. 半導(dǎo)體參數(shù)分析儀RTM2 可用于材料研究、薄膜表征以及傳感器、晶片和設(shè)備測試。在快速多路復(fù)用設(shè)置中進(jìn)行交流測試的獨(dú)特能力，可在現(xiàn)場生產(chǎn)過程中實(shí)現(xiàn)更嚴(yán)格的元件分選。

    

   

半導(dǎo)體參數(shù)分析儀RTM2開關(guān)矩陣的優(yōu)點(diǎn)：

1. 萬用表或鎖相放大器等傳統(tǒng)精密設(shè)備依賴于與被測設(shè)備（DUT）靜態(tài)連接的四線電阻測量方法。這種方法不可避免地會受到來自被測設(shè)備和測量設(shè)備本身的各種干擾影響。

2. 惠斯通電橋或平版印刷霍爾條圖案等測量安排可用于減少某些干擾的影響，但它們都依賴于實(shí)際電阻器或蝕刻圖案的精確和穩(wěn)定的對稱性，這在實(shí)踐中是無法實(shí)現(xiàn)的。

3. 相比之下，矩陣開關(guān)可以在時(shí)域中分離干擾的影響。其中一個(gè)例子是van-der-Pauw范德堡方法，它可以精確區(qū)分縱向和橫向電阻，即使是在沒有光刻圖案的不規(guī)則形狀樣品上也是如此。

4. 另一個(gè)例子是某些直流儀表采用的 "自動(dòng)歸零（auto-zeroing）"，以補(bǔ)償偏移漂移。但這還不夠。半導(dǎo)體參數(shù)分析儀RTM2的全矩陣切換功能及其與緊密多路交流測量的完全兼容性為我們帶來了無限可能。

5. 可以對偏移和增益漂移進(jìn)行補(bǔ)償，從而實(shí)現(xiàn)無限的穩(wěn)定性。這里的 "無限 "是字面意思：可實(shí)現(xiàn)的精度不是 7、8 或 10 位數(shù)，而是您愿意等待的位數(shù)。在自己的實(shí)驗(yàn)室里進(jìn)入計(jì)量圈子吧！

6. 還可以對整個(gè)儀器的復(fù)合非線性進(jìn)行補(bǔ)償。這樣就可以測試亞ppm 級的 I-V 非線性，從而在較低和較溫和的電流密度下看到更高階的傳輸物理。

半導(dǎo)體參數(shù)分析儀RTM2突出亮點(diǎn)

• 基于集成開關(guān)矩陣的可重構(gòu)設(shè)備架構(gòu)

• 8 個(gè)用戶自定義端口（BNC 連接器），功能（輸入、輸出和/或參考）可自由確定

• BNC 屏蔽可配置為無源接地或有源屏蔽

• 使用固定連接（開爾文或霍爾幾何）進(jìn)行傳統(tǒng)的交流和直流 4 線測量

• 交替連接的交流和直流測量（電阻張量測量、范-德-波測量或電阻率測量）

• 同時(shí)測量薄膜縱向和橫向電阻的精確絕對值，無需光刻圖案

• 常用測量模式的軟件預(yù)設(shè)，可任何用戶特定的切換序列

• 基于 TCP 的通信，可輕松集成到任何環(huán)境中（如 Labview、C、Python）

半導(dǎo)體參數(shù)分析儀RTM2主要的優(yōu)勢：

• 可替代所有用于電氣特性測量的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備(例如鎖定放大器、SMU、DMM）

• 通過集成的矩陣開關(guān)克服了靜態(tài) 4 點(diǎn)測量的限性

• 提供范-德-波測量和電阻張量測量的預(yù)設(shè)值，并允許用戶進(jìn)行全面配置

• 無需進(jìn)行復(fù)雜的樣品制備（如平版印刷）。

• 可輕松連接多種不同的測量裝置（如探針臺、低溫恒溫器、真空系統(tǒng)等）

• 節(jié)省測量時(shí)間，提高樣品吞吐量

半導(dǎo)體參數(shù)分析儀RTM2主要的應(yīng)用領(lǐng)域

材料研究與表征

• 固體物理 

• 半導(dǎo)體物理

• 磁性器件 

• 柔性電子器件

• 自旋電子學(xué) 

• 新型功能電子材料和器件

工業(yè)研發(fā)和晶片/設(shè)備測試

• 微電子設(shè)備 

• 存儲器

• 晶體管、二極管 

• LED/OLED 

• 太陽能電池 

• 顯示器、TCO 

• 傳感器

   

半導(dǎo)體參數(shù)分析儀RTM2典型測試示例：

• 在標(biāo)準(zhǔn)幾何結(jié)構(gòu)（開爾文和霍爾布）中進(jìn)行超低噪聲、高穩(wěn)定性交流和直流 4 線測量

• 對不規(guī)則、無結(jié)構(gòu)薄膜樣品進(jìn)行范德保開關(guān)連接 4 線測量

• 基礎(chǔ)物理學(xué)和計(jì)量學(xué)中的亞ppm 相對變化和非線性測量

• 零偏移霍爾 4 線測量（即使是非結(jié)構(gòu)化樣品，也能準(zhǔn)確分離縱向電阻和橫向電阻）

• 比率電阻測量，消除樣品和設(shè)備漂移

• 高驅(qū)動(dòng)諧波失真測量

• 脈沖和測量例程

半導(dǎo)體參數(shù)分析儀RTM2規(guī)格參數(shù)：

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