這是一種波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀（WD-XRF），可以以非破壞性和非接觸方式同時(shí)分析尺寸達(dá)~200mm的晶圓上各種薄膜的厚度和組成。 XYθZ驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)（利方法）可以精確分析各種金屬膜，避免衍射射線的影響。 4kW大功率X射線管可實(shí)現(xiàn)超輕元素的高精度分析，例如BPSG薄膜的痕量元素測(cè)量和硼分析。 還支持C-to-C運(yùn)輸機(jī)器人（可選）。 它配備了自動(dòng)校準(zhǔn)（全自動(dòng)每日檢查和強(qiáng)度校正功能）。

日本理學(xué)波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀WDA 3650用于薄膜評(píng)估的波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀

這是一種波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀（WD-XRF），可以以非破壞性和非接觸方式同時(shí)分析尺寸達(dá)~200mm的晶圓上各種薄膜的厚度和組成。 XYθZ驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)（利方法）可以精確分析各種金屬膜，避免衍射射線的影響。 4kW大功率X射線管可實(shí)現(xiàn)超輕元素的高精度分析，例如BPSG薄膜的痕量元素測(cè)量和硼分析。 還支持C-to-C運(yùn)輸機(jī)器人（可選）。 它配備了自動(dòng)校準(zhǔn)（全自動(dòng)每日檢查和強(qiáng)度校正功能）。

支持微量元素的濃度和成分分析

適用于從輕元素到重元素的各種元素： 4是~92U

高靈敏度硼檢測(cè)儀AD-硼

我們不斷開(kāi)發(fā)新的光學(xué)系統(tǒng)，例如提高硼分析能力，以提高分析的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。 此外，降溫機(jī)構(gòu)和真空度穩(wěn)定機(jī)構(gòu)是穩(wěn)定的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。

X-Y-θ 驅(qū)動(dòng)

X-Y-θ驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)和測(cè)量方向設(shè)置程序可以在整個(gè)晶圓上精確測(cè)量薄膜厚度和成分分布。 鐵電薄膜也不受衍射光束的影響。

應(yīng)用

半導(dǎo)體器件BPSG，SiO2四3N4、・・摻雜多晶硅（B，P，N，AS）， Wsix、・・Al-Cu， TiW， TiN、TaN， PZT， BST， SBT， ・・MRAM、・・ 金屬膜 W， Mo， Ti， Co， Ni， Al， Cu， Ir， Pt， Ru， ・ 磁盤 CoCrTa， CoCrPt， DLC， ・
NiP， ・

磁光盤 Tb-FeCo， ・ 磁頭 GMR， TMR， ・

廣泛的固定測(cè)角儀產(chǎn)品陣容

我們根據(jù)膜厚和膜結(jié)構(gòu)提供合適的固定測(cè)角儀。 我們還在準(zhǔn)備一個(gè)用的光學(xué)系統(tǒng)，可以分析硅晶圓上的Wsix薄膜。

全自動(dòng)日常管理功能自動(dòng)校準(zhǔn)

為了獲得準(zhǔn)確的分析值，必須對(duì)儀器進(jìn)行正確校準(zhǔn)。 為此，必須定期測(cè)量檢查晶圓和PHA調(diào)整晶圓作為管理晶圓，以保持設(shè)備的健康狀況。 這種常規(guī)校準(zhǔn)工作是完全自動(dòng)化的，減少了操作員的工作量。 這就是AutoCal功能。

與 C-to-C 自動(dòng)輸送兼容

除了開(kāi)放式暗盒外，還支持 SMIF POD。 兼容200mm以下的晶圓。 此外，還可以與主機(jī)進(jìn)行SECS通信，并支持各種CIM/FA格式。

緊湊節(jié)能設(shè)計(jì)

主機(jī)占地面積1m2下面的緊湊型設(shè)計(jì)。 無(wú)油變壓器的使用也使輔助設(shè)備更加緊湊和節(jié)能設(shè)計(jì)。
 

• 同時(shí)評(píng)估薄膜厚度和成分

• 適用于所有薄膜類型

• 支持小于 200 mm 的晶圓和介質(zhì)盤

• 高分析性能、準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性

• 獲得利的XYθZ驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)，可獲得準(zhǔn)確的XRF結(jié)果

• 高靈敏度硼分析（帶AD硼通道）

• 使用可選的 C 到 C 自動(dòng)加載器進(jìn)行自動(dòng)校準(zhǔn)

• 無(wú)油變壓器X射線發(fā)生器

• 功耗比以的型號(hào)低 23%

規(guī)格/規(guī)格

產(chǎn)品名稱	WDA-3650
技術(shù)	同步波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀（WD-XRF）
用	大 200 mm 晶圓的多層堆疊的厚度和成分
科技	4 kW X 射線發(fā)生器，帶 XYθ 樣品臺(tái)，Rh 陽(yáng) WDXRF
主要成分	多達(dá) 20 個(gè)通道，固定類型（₄Be 至 ₉₂U），掃描類型（₂₂Ti 至 ₉₂U）
選擇	靈敏的AD-硼通道，使用C-c-C自動(dòng)加載器進(jìn)行自動(dòng)校準(zhǔn)
控制（電腦）	內(nèi)置電腦，微軟視窗®操作系統(tǒng)
車身尺寸	1120（寬）x 1450（高）x 890（深）毫米
質(zhì)量	600公斤（主機(jī)）
權(quán)力	三相 200 VAC 50/60 Hz、30 A 或單相 220-230 VAC 50/60 Hz 40 A

關(guān)鍵詞：波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀  波長(zhǎng)色散XRF  理學(xué)波譜儀  

深圳華普通用科技有限公司，業(yè)提供實(shí)驗(yàn)室分析測(cè)試儀器和自動(dòng)化方案。公司分為儀器代理和自主研發(fā)兩大業(yè)務(wù)板塊。代理業(yè)務(wù)是和國(guó)際儀器公司合作，從事設(shè)備代理以及售后服務(wù)。自主研發(fā)業(yè)務(wù)是綜合運(yùn)用自動(dòng)化、機(jī)器人、計(jì)算機(jī)視覺(jué)以及人工智能等技術(shù)，為客戶提供標(biāo)準(zhǔn)化儀器和自動(dòng)化解決方案，降低實(shí)驗(yàn)室人員工作強(qiáng)度，提升工作效率，同時(shí)提高工作質(zhì)量。
 華普通用擁有一支高效的研發(fā)團(tuán)隊(duì)和技術(shù)型的銷售隊(duì)伍，在公司十多年的發(fā)展過(guò)程中累了大量的行業(yè)案例和經(jīng)驗(yàn)。華普通用愿通過(guò)不懈的努力，與廣大客戶、合作伙伴精誠(chéng)合作，始終注于為客戶提供智慧實(shí)驗(yàn)室解決方案，助力客戶成功！