日立發(fā)布的200kV球差校正透射電鏡HF5000，具有高穩(wěn)定冷場(chǎng)發(fā)射電子槍，自動(dòng)球差校正器，可一鍵操作實(shí)現(xiàn)自動(dòng)球差校正，HAADF-STEM分辨率可以達(dá)到0.78埃；可配置EDS雙探頭，固體角大可達(dá)2.0sr；具備TEM、STEM，SEM和電子衍射等多種圖像觀測(cè)模式；鏡筒和樣品臺(tái)經(jīng)過(guò)了重新設(shè)計(jì)，顯著提升了儀器的性能和穩(wěn)定性......HF5000將是材料學(xué)、生命科學(xué)、半導(dǎo)體制造、石油煤炭等研究

 日立200kV球差校正HF5000透射電鏡特點(diǎn):

標(biāo)配日立生產(chǎn)的照射系統(tǒng)球差校正器（附自動(dòng)校正功能）
搭載具有高輝度、高穩(wěn)定性的冷場(chǎng)FE電子槍
鏡體和電源等的高穩(wěn)定性使機(jī)體的性能大幅度提升
觀察像差校正SEM/STEM圖像的同時(shí)觀察原子分辨率SE圖像
采用側(cè)面放入樣品的新型樣品臺(tái)結(jié)構(gòu)以及樣品桿
支持高立體角EDX*的對(duì)稱配置（對(duì)稱Dual SDD*）
采用全新構(gòu)造的機(jī)體外殼蓋
配備日立生產(chǎn)的高性能樣品桿*

像差校正SEM圖像/STEM圖像　同時(shí)觀察
配有標(biāo)配二次電子檢測(cè)器，可同時(shí)觀察像差校正SEM/STEM圖像。通過(guò)同時(shí)觀察樣品的表面和內(nèi)部結(jié)構(gòu)，可以掌握樣品的三維構(gòu)造。
在像差校正SEM圖像中，除了可以通過(guò)校正球差來(lái)提高分辨率之外，還可以獲取更真實(shí)地樣品表面圖像。

高輝度冷場(chǎng)FE電子槍×高穩(wěn)定性×日立制球面像差校正器
以長(zhǎng)年積累起來(lái)的高輝度冷場(chǎng)FE電子源技術(shù)為基礎(chǔ)，進(jìn)行優(yōu)化，進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)電子槍的高度穩(wěn)定性。
此外，還更新了鏡體，電源系統(tǒng)和樣品臺(tái)，以支持觀察亞Å圖像，并提升了機(jī)械和電氣穩(wěn)定性，然后與日立公司的球差校正器結(jié)合使用。
不僅可以穩(wěn)定地獲得更高亮度更精密的探頭，而且自動(dòng)像差校正功能可以實(shí)現(xiàn)快速校正，從而易于發(fā)揮設(shè)備的固有性能。使像差校正可以更實(shí)用。

 

支持高立體角EDX*的對(duì)稱Dual SDD*
支持雙重配置100 mm2 SDD檢測(cè)器，以實(shí)現(xiàn)更高的靈敏度和處理能力進(jìn)行EDX元素分析。
由于第二檢測(cè)器位于第yi檢測(cè)器的對(duì)面位置，因此，幾乎不會(huì)因?yàn)闃悠穬A斜，導(dǎo)致X射線中的信號(hào)檢測(cè)量發(fā)生變化。所以，即使是結(jié)晶性樣品，也不用顧忌信號(hào)量，可按照樣品的方向與位置進(jìn)行元素分析。
此外，對(duì)于電子束敏感樣品、低X光輻射量的樣品，除了原子列映射，在低倍、廣視野的高精細(xì)映射等域也為有效。

 

日立200kV球差校正HF5000透射電鏡像差校正SEM圖像/STEM圖像　同時(shí)觀察
配有標(biāo)配二次電子檢測(cè)器，可同時(shí)觀察像差校正SEM/STEM圖像。通過(guò)同時(shí)觀察樣品的表面和內(nèi)部結(jié)構(gòu)，可以掌握樣品的三維構(gòu)造。
在像差校正SEM圖像中，除了可以通過(guò)校正球差來(lái)提高分辨率之外，還可以獲取更真實(shí)地樣品表面圖像。

 

關(guān)鍵詞：透射電鏡  

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