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詳細(xì)內(nèi)容
| 樣品臺(tái) | ||
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| 樣品臺(tái)材質(zhì) | 不銹鋼 銀銅合金 純銀塊 | 銀銅合金 純銀塊 |
| 樣品臺(tái)尺寸 | 26x26mm | |
| 樣品臺(tái)加熱方式 | 電阻加熱 | 電阻加熱 液氮制冷 |
| 樣品臺(tái)-視窗 距離 | 11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm） | |
| 樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器 | PT100型熱電阻 | |
| 樣品臺(tái)溫度 | 室溫到400℃ | 室溫到350℃ 室溫到-196℃ |
| 樣品臺(tái)測(cè)溫誤差 | ±0.5℃ | |
| 樣品臺(tái)升溫速率 | 高溫100℃/min 大值 低溫7℃/min | |
| 溫控儀 | ||
| 溫度顯示 | 7寸人機(jī)界面 | |
| 溫控類型 | 標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定 | |
| 溫度分辨率 | 0.1℃ | |
| 溫控精度 | ±0.5℃ | |
微間距的叉指電是一種*為常用的微間距電結(jié)構(gòu)，它被廣泛的應(yīng)用于非破壞性測(cè)試、電子通訊、化學(xué)測(cè)試等多個(gè)域。 一般來(lái)說(shuō)，不同的應(yīng)用域?qū)τ诓嬷鸽姷男螤�、幾何學(xué)尺寸、加工工藝、材料的選擇、建模分析、系統(tǒng)集成以及數(shù)據(jù)的分析都有不同的要求，因此對(duì)于不同的域我們應(yīng)該區(qū)分對(duì)待。如圖所示，列出了幾種常見(jiàn)的叉指電結(jié)構(gòu)，基本的結(jié)構(gòu)有圓形、矩形等，而每條叉指的形狀除簡(jiǎn)單的矩形外，也可有圓形或矩形突起。在這里，我們要根據(jù)環(huán)境監(jiān)測(cè)的具體要求，針對(duì)叉指電的結(jié)構(gòu)形狀進(jìn)行分析說(shuō)明和終的結(jié)構(gòu)選擇，確定具體的設(shè)計(jì)參數(shù)根據(jù)微弱信號(hào)檢測(cè)的相關(guān)原理，在低頻信號(hào)測(cè)量時(shí)，電阻值越高，其相應(yīng)的電阻熱噪聲和閃爍噪聲也就越高，不利于信號(hào)的提取和檢測(cè)。所以，可以通過(guò)減少敏感膜電阻值的方法，實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體敏感傳感器的信號(hào)噪聲比的提高，從而減小噪聲對(duì)測(cè)量信號(hào)的干擾。根據(jù)電阻的計(jì)算公式，影響阻值變化的因素主要有電阻率、電阻長(zhǎng)度及橫截面積等。一般情況下，氣體敏感材料薄膜的電阻率較高，因此減小敏感膜電阻值的方法是增加敏感膜的厚度或者是增大敏感膜的寬長(zhǎng)比。但是，敏感膜的厚度太大會(huì)降低氣體敏感傳感器的響應(yīng)時(shí)間。因此，綜合考慮到響應(yīng)時(shí)間和信噪比，需要設(shè)計(jì)優(yōu)化氣體敏感傳感器中微電的厚度和長(zhǎng)寬比。
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