Beneq Transform® 憑借多功能性和靈活性，制造了全新的ALD集群工具設(shè)備。可適用于廣泛的應(yīng)用場景并滿足不同的市場細(xì)分。Beneq Transform™配置多個(gè)ALD工藝模塊，以滿足特定的晶圓產(chǎn)能要求，也可為應(yīng)對不斷增長的產(chǎn)量或新的ALD應(yīng)用而進(jìn)行升。

兼容熱法和等離子體增強(qiáng)ALD工藝模塊

單片、批量、熱法及等離子體增強(qiáng)功能集成在同一平臺上。適用于廣泛的高性能氧化物和氮化物。 為客戶提供了靈活、可靠、高產(chǎn)能的ALD解決方案。

Beneq Transform™憑借靈活的自動化平臺，熱法和等離子體增強(qiáng)的ALD工藝模塊集成在一個(gè)系統(tǒng)中的獨(dú)特能力，在工藝制備中可滿足苛刻的薄膜沉積要求，并提供無與倫比的靈活性。

為晶圓廠設(shè)計(jì)

工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的水平晶圓裝載可實(shí)現(xiàn)即插即用的無縫集成。配備獨(dú)特的預(yù)熱模塊，可減少數(shù)小時(shí)的等待時(shí)間，并將產(chǎn)能提升到一個(gè)全新的水平 。

SEMI 認(rèn)證

完全符合 SEMI S2/S8 和 SECS/GEM 標(biāo)準(zhǔn)。為客戶提供定制化服務(wù)，確保在批量生產(chǎn)中順利過渡到 ALD 工藝。

Beneq Transform™ 是適用于電力電子、MEMS 和傳感器、RF、LED、光子學(xué)和先進(jìn)封裝應(yīng)用的一站式 ALD 解決方案。