eneq P400A 和 P800 是為工業(yè)規(guī)模生產(chǎn)設(shè)計的原子層沉積系統(tǒng)。它們是從研發(fā)階段到大規(guī)模的工業(yè)化生產(chǎn)的理想工具。該系統(tǒng)經(jīng)過工業(yè)認證，技術(shù)成熟可靠。該設(shè)計主要基于在嚴苛的工業(yè)應(yīng)用中連續(xù)運行25年（24/7）的豐富經(jīng)驗。

我們的大多數(shù)工業(yè)客戶需要用的設(shè)備和工藝設(shè)置。Beneq 擁有多臺 P400A 和P800 系統(tǒng)，用于滿足應(yīng)用開發(fā)和薄膜研發(fā)過程中的各種鍍膜需求。
因此，那些尋找生產(chǎn)設(shè)備的客戶可以在進行投資之，驗證工藝及設(shè)備的技書性能和財務(wù)成本。此外，我們還提供小規(guī)模量產(chǎn)的可能性，直到客戶可以實現(xiàn)自主生產(chǎn)。

性能優(yōu)勢

• 研發(fā)階段后可立即擴大到生產(chǎn)階段。

• 用于可重復(fù)生產(chǎn)控制的日志記錄。

• UPS支持功能。

• 維護需求更低。

• 采用獨特的迷你尺寸設(shè)計，可滿足裝載、批量生產(chǎn)、基底尺寸的靈活性以及污染控制。

• 采用迷你尺寸和有的過濾器設(shè)計，可從 P400 系統(tǒng)上分離進行清洗工作。進行清洗時無需停機。

• 具有高性價比的熱腔和大容量批量系統(tǒng)。

• 獨特的熱穩(wěn)定源供應(yīng)系統(tǒng)、嵌入式快速計量閥和集成的驅(qū)體通道。

• 真空泵系統(tǒng)采用有的大容量驅(qū)體吸附和過濾系統(tǒng)，可實現(xiàn)大批量加工。

• 除了正常的加熱回路以外，附加 PLC 可通過用熱電偶避免過熱，從而提高生產(chǎn)安全性。

• 經(jīng)過30年的發(fā)展，行業(yè)見證的高重復(fù)性和生產(chǎn)可靠性。