產(chǎn)品原理 ：

利用不同材料對超聲波聲阻抗不同，對聲波的吸收和反射程度不同，來探測半導(dǎo)體、元器件的結(jié)構(gòu)、缺陷、對材料做定性分析。

特點和優(yōu)勢：

* 帶有Multi-Gate 及Probing-Gate 功能的PolyGate 技術(shù)可以進行單一及多層自動聚焦成像

* 每頻道多達100個Gates

* Windows 10 Sonolytics 2 界面，64字節(jié)處理能力

* 線性馬達掃描儀可掃描JEDEC托盤

* 帶有塔式安裝掃描參考平臺及樣品定位架，更加精準

* 方便使用掃描區(qū)域使安裝、拆卸更加方便，可以掃描JEDEC托盤或300mm晶圓片

* 定量的B-Scan是Sonoscan獨有的分析模式(Q-BAM)

* B-Scan模式提供了虛擬橫截面視圖，并帶有準確的性、幅值和深度數(shù)據(jù)

Sonoscan D9650 C-SAM 超聲波掃描顯微鏡是新一代聲學(xué)顯微圖像（AMI）技術(shù)革新的一部分。無論你需要用于失效分析、工藝開發(fā)、材料特性和小批量生產(chǎn)或其它的試驗室檢查，D9650都會提供優(yōu)秀的能力。

先進的Sonoscan 功能增加了價值和信心，比如Visual PolyGate、移動地圖、像素間距等等。具有的大尺寸、容易進入的且有燈光照明的掃描區(qū)域，以及它掃描塔的參考掃描和固定裝置使得D9650有能力來快速的掃描任何樣品，包括從單個器件到兩個JEDEC托盤的器件。