Bruker三維光學(xué)表面輪廓儀-ContourGT-X3/X8

ContourGT-K是非接觸表面表征和成像域超過三十年有光學(xué)和行業(yè)。 ContourGT系列基于Wyko®技術(shù)構(gòu)建，具有大的算法和結(jié)構(gòu)設(shè)計，使布魯克成為可靠測量的 。發(fā)貨，每個單元都經(jīng)過我們美國工廠的嚴格認證。除其他規(guī)格外，還對它們進行了測試，使其均方根（RMS）重現(xiàn)性<0.03nm或更高，步長1 sigma重現(xiàn)性<0.1％。

 
原理：

利用干涉原理測量光程之差從而測定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量，從而測得與此有關(guān)的其他物理量。測量jing度決定于測量光程差的jing度，干涉條紋每移動一個條紋間距，光程差就改變一個波長(～10-7米)，所以干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的，其測量jing度之高是任何其他測量方法所無法比擬的。

應(yīng)用：

    對關(guān)鍵尺寸的測量十分便捷，廣泛應(yīng)用于科研以及半導(dǎo)體行業(yè)；LED行業(yè)、太陽能行業(yè)、觸摸屏行業(yè)及數(shù)據(jù)存儲行業(yè)等，提供非接觸式測量方案，樣品從小至微米別的微機電器件（MEMS、化合物半導(dǎo)體等），大到整個引擎部件，都可以獲得表面形貌、粗糙度、三維輪廓等數(shù)據(jù)。