μsurf共聚焦顯微鏡采用多孔共聚焦技術(shù),結(jié)合CCD的影像攝取,以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測(cè)器的孔洞,再將物鏡垂直移動(dòng),以類似斷層攝影方式,可在短時(shí)間(約幾秒)內(nèi)量測(cè)物體的三維數(shù)據(jù)。其測(cè)量方式是非接觸式,不會(huì)破壞樣品的表面,不需要在真空環(huán)境下測(cè)量,也可以用顯微鏡測(cè)量的功能來觀測(cè)樣本,其在嚴(yán)酷的工作環(huán)境下,也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法,在測(cè)量漸變較大的高度時(shí),跟其他方法相比,可以更量測(cè)物體高度,建立3D立體影像,優(yōu)勢(shì)相當(dāng)明顯。
NanoFocus μsurf explorer精密測(cè)量、表面分析系統(tǒng)機(jī)臺(tái)功能齊全,結(jié)構(gòu)緊湊,性價(jià)比高,并擁有超高光學(xué)分辨率和zui廣泛的三維表面形貌分析能力。
μsurf共聚焦顯微鏡應(yīng)用
μsurf系列用來測(cè)量表面物理形貌,進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析,如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓(縱深、寬度、曲率、角度)、表面粗糙度等。
? 精密部件:檢測(cè)對(duì)表面磨損,表面粗糙度,表面微結(jié)構(gòu)有要求的零部件,比如發(fā)動(dòng)機(jī)汽缸、刀口等;
? 生命科學(xué):測(cè)量stents支架上鍍層厚度等
? 微電子機(jī)械系統(tǒng):微型器件的檢測(cè),醫(yī)藥工程中組織結(jié)構(gòu)的檢測(cè),如基因芯片等
? 半導(dǎo)體:檢測(cè)微型電子系統(tǒng),封裝及輔助產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
? 太陽能:電池片柵線的3D形貌表征、高寬比測(cè)量,制絨后3D形貌表征(單晶金字塔大小、數(shù)量、角度,多晶腐蝕坑形貌、密度),粗糙度分析等
? 紙張:紙張、錢幣表面三維形貌測(cè)量
μsurf共聚焦顯微鏡技術(shù)參數(shù)
LED光源:λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
測(cè)量時(shí)間:5~10秒
測(cè)量原理:非接觸、共聚焦
X/Y方向,平臺(tái)移動(dòng)范圍:50mmX50mm,馬達(dá)驅(qū)動(dòng),分辨率:0.3μm
Z方向測(cè)量范圍:250μm,分辨率:2nm
物鏡:10X、20X、50X、100X(可選)
計(jì)算機(jī):高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng),功能的軟件,有拼接功能,
工作電源:100-240V, 50-60Hz, input<45W
材質(zhì):鋼鐵、橡膠、大理石
外型尺寸:710x270x330 mm (HxD)
重量:28KG
潔凈室等級(jí): Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)
關(guān)鍵詞:
μsurf共聚焦顯微鏡
上海曼戈斐光學(xué)技術(shù)有限公司(Megphy)是一家專業(yè)從事高端光學(xué)測(cè)量
儀器代理的公司。代理品牌主要有美國(guó)OPTEK、德國(guó)NanoFocus等,產(chǎn)品涵蓋共聚焦顯微鏡、三維表面測(cè)量?jī)x、全自動(dòng)影像測(cè)量?jī)x、光學(xué)顯微鏡等。公司由具備多年專業(yè)化水準(zhǔn),熟悉行業(yè)應(yīng)用并具備創(chuàng)業(yè)精神的技術(shù)人員,營(yíng)銷人員組成,致力于為用戶提供最高效、最合適的解決方案以及優(yōu)質(zhì)的售前、售中和售后的全程服務(wù),包括免費(fèi)的產(chǎn)品檢測(cè)、專業(yè)的產(chǎn)品咨詢、免費(fèi)裝機(jī)調(diào)試及培訓(xùn)、售后免費(fèi)的維護(hù)保養(yǎng)及一年免費(fèi)保修服務(wù),至今贏得了眾多知名企業(yè)的信賴和支持! Operations Technology Inc , USA (OPTEK) 于1978 年成立于美國(guó)新澤西州,是一家全球領(lǐng)先,設(shè)計(jì)生產(chǎn)非接觸式測(cè)量?jī)x及高精度測(cè)量設(shè)備的公司。產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于汽車制造、飛機(jī)制造、電氣、半導(dǎo)體制造、注塑業(yè)、醫(yī)療器械、金屬?zèng)_壓等領(lǐng)域。經(jīng)過30多年的不斷努力,OPTEK 為全球用戶提供了專業(yè)而細(xì)致的服務(wù)。我們不僅為用戶提供標(biāo)準(zhǔn)化的機(jī)型,同時(shí)也為有特殊量測(cè)需求的客戶提供定制化的檢測(cè)方案。所有的系統(tǒng)都具備微米級(jí)的分辨率和測(cè)量精度。 NanoFocus 的產(chǎn)品,服務(wù)和革新技術(shù)全面面向客戶制程。從咨詢,試生產(chǎn)到技術(shù)服務(wù),我們提供始終如一的支持。客戶可以完全信賴我們的技術(shù)經(jīng)驗(yàn)和高標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量。作為客戶發(fā)展伙伴,NanoFocus的工程師們?yōu)榭蛻艏夹g(shù)發(fā)展和解決量測(cè)難題提供幫助。NanoFocus系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)領(lǐng)域、復(fù)雜環(huán)境和持續(xù)的進(jìn)程改進(jìn)中,行業(yè)覆蓋廣泛,包括汽車工業(yè)、能源技術(shù)、印刷和造紙工業(yè)、安全技術(shù)、醫(yī)療技術(shù)、微系統(tǒng)、機(jī)械加工技術(shù)以及材料科學(xué)等。 眾所周知,廣告承諾的再好也無法解決任何現(xiàn)實(shí)中量測(cè)上的需求,這就是為什么NanoFocus完全致力于為用戶提供最誠(chéng)實(shí)的技術(shù)參數(shù),最深刻具體的產(chǎn)品應(yīng)用實(shí)例及其最專業(yè)的解決方案,以及我們給予客戶完全的信賴,讓我們的產(chǎn)品來讓您信服!