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產(chǎn)品屬性本產(chǎn)品采購(gòu)屬于商業(yè)貿(mào)易行為

ALD-05 美國(guó)SVT公司ALD原子層沉積系統(tǒng)

  • 市場(chǎng)價(jià)格： 電議
  • 產(chǎn)品型號(hào)： ALD-05
  • 更新時(shí)間： 2021/11/25 11:11:42
  • 生產(chǎn)地： 中國(guó)大陸
  • 訪問次數(shù)： 206次

    • 公司名稱： 北京中精儀科技有限公司

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企業(yè)檔案

企業(yè)類型：辦事處

公司地址：北京市海淀區(qū)中關(guān)村南大街甲6號(hào)鑄誠(chéng)大廈610

主營(yíng)產(chǎn)品：銷售機(jī)械設(shè)備，儀器儀表，化工產(chǎn)品，材料力學(xué)試驗(yàn)機(jī)，材料表面分析，半導(dǎo)體設(shè)備/CMP ，生化儀器，扭矩測(cè)試儀

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
美國(guó)SVT公司ALD原子層沉積系統(tǒng)自1990年來薄膜淀積設(shè)備制造商。擁有獨(dú)立的室內(nèi)實(shí)驗(yàn)室用于材料研究和工藝開發(fā)。提供廣泛的服務(wù)，包括淀積設(shè)備、淀積部件、集成傳感器以及工藝控制設(shè)備制造和工藝技術(shù)的高度結(jié)合，為客戶提供的技術(shù)服務(wù)實(shí)驗(yàn)室7臺(tái)應(yīng)用淀積設(shè)備生長(zhǎng)出的材料多條設(shè)備生產(chǎn)線幾乎覆蓋了整個(gè)薄膜淀積設(shè)備市場(chǎng)在薄膜淀積領(lǐng)域擁有超過120臺(tái)設(shè)備的供應(yīng)商。

詳細(xì)內(nèi)容

詳細(xì)內(nèi)容

公司簡(jiǎn)介

美國(guó)SVT公司ALD原子層沉積系統(tǒng)

自1990年來薄膜淀積設(shè)備制造商。
擁有獨(dú)立的室內(nèi)實(shí)驗(yàn)室用于材料研究和工藝開發(fā)。
提供廣泛的服務(wù)，包括淀積設(shè)備、淀積部件、集成傳感器以及工藝控制
設(shè)備制造和工藝技術(shù)的高度結(jié)合，為客戶提供的技術(shù)服務(wù)
實(shí)驗(yàn)室7臺(tái)應(yīng)用淀積設(shè)備生長(zhǎng)出的材料
多條設(shè)備生產(chǎn)線幾乎覆蓋了整個(gè)薄膜淀積設(shè)備市場(chǎng)
在薄膜淀積領(lǐng)域擁有超過120臺(tái)設(shè)備的供應(yīng)商。

NorthStar ALD系統(tǒng)介紹

NorthStar ALD原子層沉積系統(tǒng)提供各種淀積方法，包括熱淀積以及能量增強(qiáng)淀積。
每臺(tái)設(shè)備可以提供多達(dá)8個(gè)源管路以及一個(gè)熱壁淀積腔，使其應(yīng)用范圍極為廣泛。
設(shè)備的快速艙口蓋或裝載室（可選件）使樣品操作快捷方便。
NorthStar ALD系統(tǒng)不但能跟其他設(shè)備連接起來，還能連接多種測(cè)量?jī)x器。
原位測(cè)量工具以及RoboALD軟件自動(dòng)化系統(tǒng)提高了工藝的再現(xiàn)性。
可以直接升級(jí)至超高真空
提供工藝演示以及工藝培訓(xùn)服務(wù)
為潛在客戶提供免費(fèi)樣品測(cè)試。

應(yīng)用領(lǐng)域

High-K電介質(zhì)
納米涂層
MEMS
光子晶體
擴(kuò)散阻擋層
器件封裝
表面改性層

技術(shù)參數(shù)

為科研客戶量身打造的原子層沉積系統(tǒng)。
提供4"、6"、8"、12"等多種尺寸的樣品平臺(tái)。
針對(duì)客戶的需求，提供多種輸氣設(shè)計(jì)。
---可控真空度: 1 Torr to UHV
---氣道加熱
---氣體快速進(jìn)出
---樣品尺寸: 4in standard, optional 12in
---基底加熱: up to 300 ℃, optional higher temp

主要特點(diǎn)

安全的設(shè)計(jì)，多樣化的配置，測(cè)試手段。
的控制手段打造*的成膜質(zhì)量。強(qiáng)大的科研團(tuán)隊(duì)鑄就雄厚的科技實(shí)力。
---氣體離子化
---臭氧輸送裝置
---石英振蕩器
---四重質(zhì)量分光計(jì)
---實(shí)時(shí)溫度顯示
---橢偏儀
---進(jìn)樣室 

 

 

 

 

 

 


關(guān)鍵詞：ALD-05    美國(guó)SVT公司ALD原子層沉積系統(tǒng)  

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