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詳細(xì)內(nèi)容
美Sonix超聲波掃描顯微鏡
型號(hào)：ECHO LS
Sonix 非破壞超聲波掃描是款提高生產(chǎn)、簡(jiǎn)化測(cè)試、改進(jìn)生產(chǎn)率和提高產(chǎn)能的生產(chǎn)和實(shí)驗(yàn)室設(shè)備。無(wú)論是失效分析實(shí)驗(yàn)室的詳細(xì)分析還是生產(chǎn)線檢測(cè)，Sonix 都能提供個(gè)易于操作的軟件解決方案。
﹡WinIC Lab （詳細(xì)失效分析工具）
﹡WinIC Production （易于操作的、新型的生產(chǎn)工具，門用于生產(chǎn)的大量分析）
Sonix ECHO LS 可檢測(cè)小 0.05 微米的缺陷，它是款好的檢測(cè) bump, 堆疊芯片(三維封裝)，復(fù)雜 flipchip 和傳統(tǒng)塑封封裝的工具.
使用 ECHO LS 生產(chǎn)軟件改進(jìn)生產(chǎn)產(chǎn)能和提高生產(chǎn)率：
。很容易設(shè)定和使用
。監(jiān)測(cè)生產(chǎn)質(zhì)量
。通過(guò)/失效存儲(chǔ)
。簽定零件
Sonix 探頭的頻率范圍從 10MHz 到 MHz，為能適用于所有類型的應(yīng)用和材料設(shè)計(jì)
其它主要特性
。節(jié)省潔凈室空間
。整體焊接結(jié)構(gòu)（改進(jìn)平臺(tái)的穩(wěn)定性）
。輕便（移動(dòng)方便）
�？蛇x反射與透射同時(shí)進(jìn)行(快速偵測(cè)缺陷)
。減低高度，節(jié)省成本
。大面積的掃描區(qū)域（可放多個(gè) tray盤或大樣品）
。傾斜缸底（為能徹底排水）
。Z 軸探頭移動(dòng)（替代 tray 架子移動(dòng)）
�？沙槌鍪郊茏樱ǹ蓴[放夾具和樣品）
。設(shè)計(jì)緊湊（可節(jié)省維護(hù)成本）
。符合 CE, SEMI S2, NRTL
。在安全蓋、槽及門上有靜電涂層
規(guī)格：
X 軸
定位裝置：線性伺服馬達(dá)，線性伺服馬達(dá)
精度高,無(wú)磨損,無(wú)需定期做保養(yǎng)校正
大掃描速度：1000mm/
馬達(dá)精度：+/- 0.5 微米
線性光柵尺精度：0.5 微米
大掃描面積：350mm
Y 軸
定位裝置：步進(jìn)馬達(dá)
精度： 0.25 微米
大行程： 350mm
Z 軸
定位裝置：步進(jìn)馬達(dá)
精度 ：0.25 微米
大行程： 50mm
夾具
托盤夾具，掃描平臺(tái)以拖住整個(gè) tray 掃描
機(jī)身尺寸和重量
·31 inches X 31 inches X 48 inches
·or 76.66 cm X 76.66 cm X 121.92 cm
·360lbs. or 163.5kg
過(guò)濾系統(tǒng)
·循環(huán)泵和 5 微米過(guò)濾器，有自動(dòng)水循環(huán)系統(tǒng)，可把水中的雜質(zhì)過(guò)濾，大大減少雜質(zhì)對(duì)掃描結(jié)果的影響
超聲波工具
·DPR500 接接器，帶 L2/H4 放大器
·可選 U4 放大器
顯示器 . 雙顯示器
樣品槽：590mm×550mm×120mm
超聲波掃描頻率：1MHz~500MHz
傳感器頻率選擇：5MHz~300MHz
對(duì)于塑封器件，高用到75MHz，再高頻率無(wú)法穿透塑封料
脈沖發(fā)生器放大器：Pluse2
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WinIC 軟件
-TAMI：次掃描可同時(shí)獲得多 100 張 C 超掃描圖像，在需要時(shí)，可自動(dòng)調(diào)節(jié)焦距，可看到 IC 所有的分界面，無(wú)需重掃，所有的分界面成像比操作者解釋波形更直觀
-ICEBERG
-WinIC Pro (增國(guó)功能和分析)
-WinIC Offline (允許在手提電腦上分做分析)
-Waveform Simulator/Beam Emulator (容易設(shè)置)
關(guān)鍵詞：美Sonix超聲波掃描顯微鏡ECHO LS
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