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對于半導(dǎo)體、金屬、高分子材料等廣泛的樣品,從宏觀分析、微觀分析、深度分析,
或從元素分析到狀態(tài)分析,都可做多方面評價的ESCA/Auger的復(fù)合表面分析裝置。
XPS靈敏度 11800Kcps(1.30ev,MgKa)400Kcps(0.55ev,單色器)
AES靈敏度 500Kcps,S/N500∶1 對于半導(dǎo)體、金屬、高分子材料等廣泛的樣品,從宏觀分析、微觀分析、深度分析,
或從元素分析到狀態(tài)分析,都可做多方面評價的ESCA/Auger的復(fù)合表面分析裝置。
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XPS靈敏度 11800Kcps(1.30ev,MgKa)400Kcps(0.55ev,單色器)
AES靈敏度 500Kcps,S/N500∶1
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