清潔烤箱,無(wú)塵烤箱@推薦2023檢測(cè)流程http://www.tucsonhomefinance.com/c62303/products/d13084386.html
全自動(dòng)無(wú)氧化氮?dú)饪鞠,?jīng)濟(jì)型氮?dú)夂嫦,小型氮(dú)飧稍锵,精密氮(dú)夂嫦洌悄苄蜔o(wú)塵無(wú)氧化烤箱,真空氮?dú)夂嫦?br />
一、清潔烤箱,無(wú)塵烤箱簡(jiǎn)述
無(wú)塵烤箱用于IC生產(chǎn)過(guò)程中為重要的光刻工藝中預(yù)烘烤(軟烘),脫水烘烤,涂膠后的堅(jiān)膜烘烤(硬烘);也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、OLED、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén)。
二、清潔烤箱,無(wú)塵烤箱原理
無(wú)塵烤箱配備HEPA過(guò)濾器,以保持爐腔無(wú)顆粒。 HEPA過(guò)濾器(高效微粒捕獲)現(xiàn)在是電子和平板顯示器潔凈室組裝的主要過(guò)濾系統(tǒng),或任何需要大程度減少或去除亞微米微粒的應(yīng)用。 HEPA過(guò)濾器具有隨機(jī)定位的微玻璃纖維的深床,其中與平均纖維直徑和自由路徑橫截面的有效孔相比,總床深度(過(guò)濾器的厚度)非常大。
通過(guò)HEPA過(guò)濾器的氣體必須流過(guò)的通道不是直的,而是非常曲折的。隨著顆粒對(duì)纖維的影響并粘附在纖維上,通道變得更小并且過(guò)濾器的效率提高。無(wú)塵烤箱以及LCD行業(yè)的特殊輸送爐中使用這些過(guò)濾器。為了保護(hù)過(guò)濾器不會(huì)在烤箱中過(guò)熱,實(shí)施了用于過(guò)濾器的特殊保護(hù)系統(tǒng)。 HEPA過(guò)濾器在正常條件下保持其在烤箱中的效率一至數(shù)年。 HEPA不需要任何清潔或維護(hù)來(lái)保持這種效率。無(wú)塵烤箱用于半導(dǎo)體行業(yè)。
三、清潔烤箱,無(wú)塵烤箱特點(diǎn)
1、用于烘烤非光敏聚酰亞胺(PI)的清潔烤箱,在干凈的環(huán)境中處理集成的HEPA過(guò)濾器。溫度高達(dá)350°C 溫度。 氧氣可以保持<20ppm?删幊炭刂破。內(nèi)部尺寸可自定義。
2、可以提供與PC的數(shù)據(jù)耦合,這允許長(zhǎng)期數(shù)據(jù)存儲(chǔ)以及統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制SPC,配方管理和過(guò)程可視化。
3、 強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式,雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場(chǎng)分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),從而得到高精度溫度控制。
4、可實(shí)現(xiàn)智能化生產(chǎn)要求。SECS / GEM是用于設(shè)備到主機(jī)數(shù)據(jù)通信的半導(dǎo)體設(shè)備接口協(xié)議。在自動(dòng)化工廠中,接口可以啟動(dòng)和停止設(shè)備處理,收集測(cè)量數(shù)據(jù),更改變量并為產(chǎn)品選擇配方。
四、無(wú)塵烤箱,智能無(wú)塵烤箱基本參數(shù)
1、 溫度范圍:RT-200/450℃;
2、 溫度均勻度:±2℃;
3、 溫度波動(dòng)度:±0.5℃;
4、 溫控精度:±0.1℃;
5、 潔凈度:100/10的潔凈熱處理HEPA過(guò)濾器與出風(fēng)水平層對(duì)流循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與潔凈度。
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